利用静态膨胀法真空装置校准标准漏孔研究.pdfVIP

利用静态膨胀法真空装置校准标准漏孔 ，王金锁2许红2唐景远 Jinsuo砍uHong XWang qangJingyuan 1上海交通大学 2上海市计量测试技术研究院 InstituteofMeasurementand ‘ShanghaiJiaotongUniversity2Shanghai TestingTechnology 摘要：本文介绍了利用静态膨胀法真空装置和残余气体四极质谱计校准标准漏孔的方法，通过试验数据完全 不确定度小于5％(k=2)。 关键词：静态膨胀法真空装置 标准漏孔 不确定度 this methodis forcalibrationof referenceleaks static vac— Abstract：In gaseous using expansion paper．，a investigated tlumstandardandmass datathismethodshow with Curvebe- very agreement spectrometer．Thetestingby good principle twcen andleakrate．Calibrationleakrateofthis isfrom to at10。pa·m3／s pressure apparatus104pa·mVs104pa·m3／s．and thetotal causedlandomerror8isbelow uncertaintyby 5．0％伙=2)． vacuumstandard referenceleaks Keyword：staticexpansion uncertainty 一、引 言 真空技术领域中一项重要内容是真空检漏技术，真空检漏有正压检漏或负压检漏，检漏仪～般都需要 标准漏孔对其灵敏度进行校准。标准漏孔也根据用途和校准方法分为正压漏孔和真空漏孔，本文只限于真 空漏孔的校准(以下称为标准漏孔)。 标准漏孔漏率的绝对校准方法有流量计法和气体累积法两种，目前国内多采用前一种方法，例如国家计 量院和兰州近代物理研究所都建立了装置。美国国家标准(ASTME908-98)则采用了气体累积法建立的标 准装置。 二、装置简介及工作原理 1．膨胀法真空装置 膨胀法真空标准装置是利用波义耳一马略特定律，将小体积取样室的高压气体，膨胀到大体积的校准 室中，通过计算得到校准室内的低压力值，压力Pi： Pj=PiVII(Vi+Vj) 在不同年代、不同实验室、不同研究者所研制的膨胀 法标准装置无论在结构和性能上都有很大的差异。我们 所建立的标准装置结构如图l所示． 性能参数如表1。 2．校准标准漏：fL_v--作原理和方法 将压力为Po的被校标准漏孔气体利用膨胀装置v。 和v，两次取样至二级校准室V：，通过残余气体四极质谱 —．34．． 表1 项目 参数 校准室体积 V1=64．96L，V2=63．85L vl=O．0536L,v2=O：4049L 取样室体积 v3=O．0715L,v4=O．4050L