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纳米级压电陶瓷微位移系统的研究[专业论文]
天津大学学报 第 33 卷 第 4 期 2000 年 7 月
JOU RN AL O F T IAN J IN U N IV ER S IT Y V o l. 33 N o. 4 J u l 2000
纳米级压电陶瓷微位移系统的研究
于思远, 林 滨, 韩雪松, 刘殿通, 刘文芝, 刘金华
(天津大学机械学院, 天津 300072)
摘 要: 介绍了一种用于纳米磨削的新型微位移系统, 该系统由压电陶瓷微位移工作台和计
算机控制的专用驱动电源组成, 系统精度与压电陶瓷致动器和控制系统密切相关. 阐述了以
压电陶瓷致动器为核心的微位移工作台和驱动电源的设计原理和设计特点, 并用已研制成
的高精度高分辨率微位移系统实现了陶瓷样件的纳米镜面磨制.
关键词: 纳米级; 压电陶瓷; 微位移系统
中图分类号: T G580. 623 文献标识码: A 文章编号: 04932 137 (2000)
超精密及纳米加工技术在提高机电产品的性能、 电压时, 在电场的作用下, 电介质产生应变, 导致电致
质量和发展高科技产品等方面具有重要作用, 现已在 伸缩陶瓷伸长, 其变形力推动板弹簧变形, 使上平台产
国防、航空航天、核能及国民经济各高新技术领域中广 生微量进给. 本文从位移精度、位移总行程、机构刚度、
泛应用. 高精度、高分辨率的微进给系统是超精密及纳 结构工艺性、预加载荷、剪应力传递和密封性等方面进
米加工中的关键工艺装置, 它不仅具有微量控制切削 行了综合考虑, 从而保证了工作台的高刚度和高分辨
深度的功能, 还可以进行机床导轨直线度和主轴回转 率特性.
精度误差的补偿以及非对称表面的加工等. 1. 2 电致伸缩陶瓷致动器的特性及选用
根据陶瓷致动器工作电压低, 位移量大, 分辨率
1 微进给工作台主要元件的选择和设计原理 高, 位移重复精度高, 无压电陶瓷老化现象及稳定性好
等特点, 选用由PL ZT 材料制作的W TD S 系列陶瓷微
1. 1 微进给工作台的结构 位移器件. 电致伸缩陶瓷在直流电场作用下产生的应
微进给工作台由电致伸缩致动器、板弹簧、预紧螺 变与电场强度的平方成正比.
栓、密封帽、支撑套、基座、上平台、压紧圈和压盘等零 = · 2 ( 1)
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部件组成, 见图 1. 当给电致伸缩陶瓷施加一定的直流 式中: 为应变; 为电致伸缩系数, ; 为电场
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