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！＂技术节点的模型和提取算法！.PDFVIP

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  • 2018-01-05 发布于天津
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！＂技术节点的模型和提取算法！.PDF

    第卷第期年月物理学报技术节点的模型和提取算法王俊平郝跃西安电子科技大学通信工程学院西安西安电子科技大学微电子学院西安年月日收到年月日收到修改稿在和技术节点集成电路制造业的投资剧增而随机成品率却在下降低为了提升随机成品率带权关键面积的计算和排序是关键文中基于数学形态学提出了一种随机缺陷轮廓的新模型该模型不仅考虑了和工艺中缺陷在布线区域和空白区域的不同密度而且也考虑了缺陷在粒径上的分布特性同时还设计并实现了与新模型对应的提取与排序算法部分版图上的实验结果表明新可以作为版图优化的代价函数从而为随机缺陷

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