无机生物材料学第六章.pptVIP

下载本文档

6
0
约1.36万字
约 81页
2018-01-08 发布于湖北
举报
版权申诉

无机生物材料学第六章.ppt

1、本文档共81页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

无机生物材料学第六章

DLC薄膜制备方法物理气相沉积 1.离子束沉积(IBD)：采用氩等离子体溅射石墨靶形成大量的碳离子，并通过电磁场加速使碳离子沉积于基体表面形成DLC膜 DLC薄膜制备方法 2.溅射沉积特点：沉积的离子能量范围宽。主要分为：直流溅射、射频溅射、磁控溅射 3.磁过滤阴极弧沉积 4.脉冲激光沉积(PLD)：多功能的工艺方法，可以用来沉积从高温超导体到硬质涂层等多种不同性质的材料。 DLC薄膜制备方法化学气相沉积 1.直接光化学气相沉积 2.直流辉光放电化学气相沉积(DCCVD) 3.射频辉光放电化学气相沉积(rf PECVD) 感应圈式：膜质量较差并且沉积速率低平行板电容耦合式：薄膜厚度均匀、生产效率高、沉积速率高、稳定性好、可调性和重复性好 4.电子回旋共振化学气相沉积(ECRCVD) 电子回旋共振是在输入的微波频率等于电子回旋频率时，微波能量可以共振耦合给电子，获得能量的电子与中性气体碰撞，分解碳氢气体产生等离子体，然后沉积到基体上碳基生物材料存在的问题 1 表征困难（不溶、不熔、无法表面改性） 2 部分材料断裂韧性低 3 不降解 Company Logo * * * 3.碳/碳复合材料存在的不足高温氧化性气氛下极易氧化碳复合材料生产的成本较高大尺寸制造工艺也有待提高 4.碳/碳复合材料应用明显看出，对碳材料的需求逐年增加 * 航天应用 * 三叉戟鼻锥，发动机喷管喉衬 * 碳碳复合材料的医学应用