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掺硅水平砷化林单晶的产业化
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武壮文
(工，北京有色金属研究总院，北京 100088;2.国瑞电子材料有限贵任公司，河北廊坊 065000
摘 要:本丈阐述了光电干材杆接硅水平砷化稼单 原国家半导体工程材料研究中心化合物半导体研究
晶的产业化过杜，并就设备、工艺上的一些问题进 室的基础上组建了国瑞电子材料有限责任公司。担
行了讨论.获并了一些有益的结果.本文提出了评 负起开发生产以H日-GeA和‘GaP为主的化合物半导
价产业化结果的四个f化指标，供大家参考. 体材料的重任。2000年6月30日.在河北廊坊举行
关锐词:HB-GaAs;产业化，工艺技术 了HB-GaAs生产车间全线开通仪式。水平炉达到了
26台。月产单晶100-140kg.合计片子 ，000-8000
1 引 言 片。实现了HB-GOM单晶的产业化。
本文将就工程的建设和产业化的过程及产业化
近几年来，光电子方面的应用发展迅速。交通 的工艺研究和结果等进行阐述、分析和讨论。供大 1
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信号灯、交通指示灯、显示阵列等都由热光源向冷 家参考。 ‘
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光源转移。以LED为代表的发光器件、显示器件发
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展迅速。因此，极大地刺激了光电子材料的开发生 2工程建设和设备的安装
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