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MMI光波导藕合器的研究 杨建义 周强 王明华 浙江大学信息与电子工程学系 杭州 310027 EMAIL:yangjy@.en 摘要:多模干涉锅合器(Multi-ModeInterferenceCoupler,MMICoupler)是一种多功能的光波导辍合器结构. 本文首先简要地给出了MMI祸合器的工作机理，由此推导出它在光功分器、2X23dB拐合器和干涉器、 光路由器和光波分复用j解复用器等光波导器件中的应用.在实验方面，本文给出了在GaAs/GaAlAs单异质 结外延材料上所做的SIE多模波导的制作和具有MMI结构的1X4光功分器的研制。 一 引言 多模干涉祸合器((Multi-ModeInterferenceCoupler,MMICoupler)是一种多功能的光波导祸 合器结构，其可开发的应用范围是相当巨大的，为此我们对它进行了理论和实验的初步研究。 二.MMI藕合器的工作机理 很早以前人们就发现周期性排列的物体被相 干光源照射时的自映像效应。Bryngdahl于1973 年提出均匀折射率平板波导也可以得到自映像D1 Ulrich进一步阐述了这一原理12[.31。图I所示为一 个简单的MMI祸合器。MMI祸合器的关键结构 是一个能够传输多个模式的波导，波导的侧壁两 侧存在大的折射率差用以支持产生自映像效应 (SIE)。这个多模波导要求能够支持3个以上的模 式。本文称这种多模波导为SIE多模波导。由一 丫y 个SIE多模波导和两组分别用于输入输出的单模 图1.1XNMMI棍合器示意图 波导便构成 了MMI祸合器。 自映像效应可以简单地描述为 在多模波导中，沿着波导的传播方 向，将周期性地自复制 出输入场的单像或多像。图2所示为MMI祸合器工作原理示意图，图中给出了对称输入和非 对称输入两种情况。 图2.MMI藕合器工作原理示意图。其中(a)为对称输入下的单像复制， (b)为非对称输入下单像复制(此时为((a)情况下长度的四倍)。 人们已经报道了几种分析MMI藕合器的方法，如全模式传输分析法、几何光学法、混合 法和光束传输法等。本文采用导模传输分析法131。这种方法把输入场看成所有导模的组合，可 以使得分析变得简单，而实践证明它又提供了足够精度的分析结果。因此，导模传输分析法 是一种有效的分析方法。在4[]中较为详细地给出了导模传输分析法的分析过程。 ’本课题为浙江省自然科学基金资助项目(695048)和浙江大学曹光彪高科技发展基金资助项目 335 三.MMI 合器的应用 由导模传输分析法可得，若取 M =万3Lz (1) 4n,WZ 则可由SIE多模波导获得输入光的N个像。式中L二二 M和N为整数，且互质。 3入。 这.V个成像在SIE多模波导的输出端的位置由下式决定 (相对量): M Y。一(2q一N)万W (2) 相应的相位为: M P(。二q(N一q)万C7 (3) 1.1x，征功仆器 光功分器是重要的光波导器件。采用NWI祸合器结构设计 1XN 的光功分器，应该说