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基于栅线投影相关法的薄膜变形测量研究
1,2 1,2 1,2 3 1,2
刘雯雯 ,朱飞鹏 ,史红健 ,王子菡 ，何小元
(1.东南大学工程力学系 江苏南京 210096
2.东南大学MEMS教育部重点实验室 江苏南京 210096
3.湘潭大学材料与光电物理学院 湖南湘潭 411105)
摘要:栅线投影相关法是将栅线投影法和数字图像相关法相结合，基于数字图像
相关法解调被物体高度调制的投影栅线平移量的原理，将离面位移的测量转化为
面内位移的测量，从而实现微小结构三维形貌和离面变形测量的一种新方法。阐
述了该方法的测量原理和标定过程，利用该方法对气压下薄膜的离面变形测量进
行了研究。通过实时获取栅线投影条纹图，并与变形前的条纹图做数字图像相关
计算，得到高精度的面内位移，根据标定结果即可得到薄膜变形的三维形貌和离
面位移，同时得到气压和薄膜挠度关系。研究结果表明，栅线投影相关法简单易
行，测试结果可靠，配合高速图像采集系统，可用于微小结构的动态测试，为实
现微小结构动、静态测试展现了新的应用前景。
关键词:计量学；变形；栅线投影相关法；薄膜；三维形貌；挠度
中图分类号：TB92 文献标识码：A
Study of Thin Film’s Deformation Measurement Based on
Fringe Projection Correlation Method
1,2 1,2 1,2 3 1,2
LIU Wen-wen , ZHU Fei-peng , SHI Hong-jian , Wang Zi-han , HE Xiao-yuan
(1.Department of Engineering Mechanics , Southeast University , Nanjing , Jiangsu 210096 , China
2.Key Laboratory of M EMS of Ministry of Education, Southeast University, Nanjing 210096, China
3.College of Material Photoelectronic Physics, Xiangtan University,Xiangtan,Hunan,411105,China)
Abstract: Fringe projection correlation method combines fringe projection method
and digital image correlation method into one optical system. Based on the principle
of demodulating the displacement of the projected fringes with digital image
correlation method, the out-of-plane displacement is achieved through the
measurement of in-plane displacement. It is a novel method for measuring 3-D profile
and displacement of micro structures. The principle and detailed calibration process of
this method is described systematically. Moreover, an experimenta
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