光电薄膜材料与技术.pdfVIP

光电薄膜材料与技术 授课教师： 许向东 电子科技大学光电信息学院 绪 论 ●本章内容： 1. 薄膜的历史、定义 2. 薄膜的应用 3. 薄膜制备方法的分类 、课程介绍 ●本章参考书： 1. 唐伟忠，薄膜材料制备原理、技术及应用（第二版），冶金工 业出版社，2003 2. 陈光华，邓金祥，新型电子薄膜材料，化学工业出版社，2002 3. 王福贞等，气相沉积应用技术，机械工业出版社，2007 §0-1 薄膜的历史 ● 公元105年，东汉蔡伦发明造纸术; ● 7世纪，溶液镀银工艺； ● 1000多年前，阿拉伯人发明了电镀; ● 19世纪中叶，电解法、化学反应法、真空蒸镀法等， 标志着薄膜技术的逐步成熟，但应用面仍很窄； 隐身薄膜 电子薄膜 特种膜 ● 20世纪以来，特别是二战以后，随半导体技术的兴起， 涌现了以溅射法为代表的一大批新技术，在学术和 实际应用中取得丰硕成果； 性质；机理 ● 近年来，LB、Sol-Gel、ALD 、激光闪蒸法。 ● 薄膜技术伴随着人类文明史；在科学技术发展、人们 日常生活中发挥重要作用；是化学、物理学、材料学、 半导体学等多学科交叉的学科。 What? §0-2 薄膜的定义 一、定义1 （狭义定义）： 真空 由单独的原子、离子、 原子 原子团无规则地入射到 基板表面，经表面迁 薄膜 徙、凝结、成核、核生 长等过程而形成的一薄 层固态物质。 基板 定义1的特点： ● 强调了薄膜生长的机理与过程 ●仅仅适用于薄膜的气相生长方法，而不适用于液相法 ● 强调了薄膜的生长必须依附基板 基板的特点： ● 名称：衬底、基板、基片， Substrate，Wafer ●材料：金属、半导体、玻璃、陶瓷、塑料、纸张等 ● 作用：支撑、绝缘等 二、定义2 （广义定义）： 夹在两个平行平面间的薄层 上平面：空气 固体膜、液体膜 下平面：固体表面、液体表面、空气 缺点： 不能区分薄膜、厚膜、涂层、金属箔、(分离)膜、层等概念。 thick film coating foil membrane 三、定义3 ： 采用特定的制备方法，在基板表面形成的一薄层 固态、或液体物质。 ● 强调基板必不可少； —— 区分薄膜与金属箔、塑料薄膜 ● 强调制备方法； —— 区分薄膜与厚膜，厚度不是区分的关键 通常厚度： 薄膜 1 μm 超薄膜 10 nm 厚膜 10 μm ● 薄膜(Thin Film)：由物理气相沉积(PVD)、化学 气相