新型移相量块干涉仪的研制-计量学报.PDFVIP

第３８卷　第３期 计　　　 量　　　学　　　报 　 Ｖｏｌ．３８，№３ ２０１７年　５月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　 Ｍａｙ，２０１７ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１７．０３．０１ 新型移相量块干涉仪的研制 １ １ ２ ２ １ 张旭东 ，　刘香斌 ，　王世婕 ，　王振华 ，　吴月艳 （１．中国计量科学研究院，北京 １０００２９；　２．内蒙古自治区计量测试研究院，内蒙古 呼和浩特０１００００） 摘要：研制了一台用于０．５～１００ｍｍ量块测量的新型移相量块干涉仪，分别以波长为６３３ｎｍ和５４３ｎｍ的两 台稳频激光器作为测量光源，通过一根单模光纤引入到干涉仪内。高精密移相器实现５步移相干涉测量，ＣＣＤ相 机采集干涉条纹并计算干涉条纹小数，被测量块长度采用多波长的小数重合法计算。移相量块干涉