原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第19卷第5期 传感技术学报 V01．19·No．5
CHINESE b睁sI㈣挺§ANDAcllIATORs
z006年lo月 J01JRNAL 0ct．2006
andFabricationofSilicon SensorUsedforTPMS
Design IntegratedChip
ZHANG Zhi-min2，LIN
Zhao-huah，LIUBing-v．脱1，ZHANGYan-hon91，TAN
ofMicroelectronics，TsinghuaUniversity，Beijing
，1．Institute 100084，China；、
DeltaInstitute ／
314001，China
＼2．Yangtze ofTsingh∽Univerqity，劢diang
TirePressure and consist
Abstract：Asensorfor Monitor fabricated，which
chip System(TPMS)isdesign
of sensorand tothe ofthefull
piezoresistivepressure temperaturesensor．Accordingrequirementscale，a
ofthicknessandareaofthe isused．Thisresultinthe stressarea
highproportion diaphragm design high
outsideofthe ofthesensoris concentration
spread high achieved．High injection
diaphragm，asensitivity
isusedforlowerzero
output．
effect；stress sensor
Keywords：TPMS；pressuresensor；piezoresistivedistribution；temperature
E】巳婀C：7230
硅基TPMS集成传感器研究
张兆华¨，刘兵武1，张艳红1，谭智敏2，林惠旺2，刘理天1
(1．清华大学微电子学研究所，北京100084；2．浙江清华长三角研究院，浙江嘉兴314001)
摘 要：本文介绍了一种应用于轮胎压力监测系统(TPMs)的传感器芯片的设计与制作．该传感器芯片集成了压阻式压力传
感器和单电阻结构的温度传感器，根据量程需要，硅杯膜的厚度与面积比比较大，所以高应力区向膜外扩展，通过改变桥臂电
阻的摆放位置和形状，提高了传感器的灵敏度，并且通过采取高浓度注入电阻拐角区域，得到了较好的零点输出．
关键词：TPMS、压力传感器、温度传感器、压阻效应、应力分布
中图分类号：Ⅱ，212．1 文献标识码：A
文档评论（0）