玻璃基集成光功率分配器的研讨.pdfVIP

光电子·激光 第17卷增刊2006年6月 JournalOptoelectronics·Laser of 玻璃基集成光功率分配器的研究 王明华，高 阳，李锡华，郝寅雷 (浙江大学信息学院信电系半导体光电子研究所，杭州，310027) 摘要：利用电场辅助离子交换法在玻璃基上制作低损耗光波导。得到的单模波导传输损耗可以达到 0．2dB／cm。在此基础E制作出Y分叉级联1×4，1×8，1×16，1×32光功分器，器件损耗低、均匀性 好、尺寸小。经过封装测试．器件的主要指标达到了产品的标准。该工艺成本低、一致性好，适合大规模 批量生产。 关键词：集成光学；光功率分配器；玻璃基；离子交换 换方法分干法交换和湿法交换，另外还有一些辅助 1 引 言 方法如：电场辅助掩埋口】、离子掩膜、退火、表面腐 光功率分配器(简称光功分器)是一种光耦合 蚀等。干法交换结构简单，容易形成较大折射率 无源器件。它将光的功率按照预定的比例分配成 差．但损耗相对较高。湿法交换形成的折射率差较 几个部分。光功分器是将信号从干线光缆分配到 小、损耗低，特别是波导的掩埋减小了玻璃基表面 各用户必不可少的器件。随着光纤通信的发展，特 缺陷对损耗的增加，同时使得波导模式和光纤模式 别是光纤接入网的发展，世界范围内对光功分器的 更加地匹配，降低了耦合损耗。 需求量正迅速增加。光功分器在我国的用量为： 利用玻璃基离子交换法制作光波导器件除了 2000年50万支．2002年超过70万支，2005年达到传输损耗低(可达到0．1dB／cm)、与光纤耦合损 150万支，因此这个产业在我国有巨大的市场前景。 耗低的优点外，还有PDI．(偏振相关损耗)小、成本 光功分器的种类一般有三种：微光器件型、光 低、一致性好、适合批量生产的优点。我所近年来 纤熔接型、平面波导型，目前使用最多的是光纤熔 对玻璃基离子交换方法进行了一定的研究，现有实 dB／cm。在此基础 接型。光纤熔接型是将两根光纤或者多根光纤排 验室条件下传输损耗达到d0．2 列，光纤局部加热熔合而成，如图1所示。这种器 上，我们研究了Y分叉级联和MMI(多模干涉)光 件的工作波长范围仅为中心波长(1310，1550)的± 40rim。在制作多路数功分器时比较困难，且不便 联光功分器经过封装测试，其主要指标已经达到了 于集成。 产品标准。 口 2 Y分叉级联光功分器结构 cm， 以1×32功分器为例，器件尺寸为：长3．5 输出波导间距127肛m，波导宽度4弘Ill。器件结构 图1光纤熔接型耦合器 如图2所示： 平面波导型功分器是将做有集成光路的芯片 ●●一 和输入、输出波导阵列封装而成。玻璃基离子交换 ^：j：‘··’_ ．．譬举≮二。、～…一… 法便是其中一种低成本、低损耗的平面波导型功分 ．，。√￡：』≮≮≤乏箩—一 器制作工艺。 and