磁控直流等离子体炬内的多场耦合研讨.pdf

中国工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编号：093509 磁控直流等离子体炬内的多场耦合研究 唐达培 高 庆 李映辉 (西南交通大学力学与工程学院，成都610031) (Tel: 028Email: dapeitang@163.com) 摘要：以沉积金刚石膜的磁控直流等离子体炬为研究对象，首先对炬内的多场耦合关系进行理论分析， 然后对经典的流体动力学方程组加以修正，引入与电磁场有关的多个源项，并结合麦克斯韦方程组(全 欧姆定律、电流连续方程等)，建立炬内的磁流体动力学多场耦合模型，最后定量模拟外部载流螺管线 圈的电流大小对等离子体传热流动的影响。结果表明，螺管线圈的电流越大，则等离子体的旋转速度 越大，温度的均匀性越好，有利于金刚石膜的沉积。 关键词：等离子体炬; 多场耦合; 外磁场；金刚石膜。 0 前言 在化学气相沉积制备金刚石膜中, 直流等离子体炬被证实是实现高速率沉积的有 效设备之一。但由于传统的工业用直流等离子体炬在设计时，针对的使用对象是等离子 体喷涂或切割等，它重点考虑的是炬的热效率，而很少考虑被加热气体能量密度径向分 布的均匀性，其特点是喷口直径很小，且均匀性差，这种等离子体炬难以满足金刚石膜 制备所需的质量要高、沉积面积要大、温度及成分的均匀性要好等目标。为此，北京科 技大学研发了一种适合于金刚石膜沉积的新型磁控直流等离子体炬,如图1 所示[1] 。它主 要由上方的杆状阴极、下方的筒状阳极、放电通道、冷却水通道、以及环绕在炬外壁的 用于产生外磁场的载流螺管线圈等组成，炬的内壁绝缘。这种经改进后的磁控直流等离 子体炬相比于传统的工业用等离子体炬的最大区别在于[1] ：(1)增加了外部载流螺管线圈 产生外磁场，由于该螺管线圈的长度有限，所产生的外磁场既有轴向分量、也有径向分 量，它们与炬内部的周向自感应磁场形成矢量叠 加，必然赋予炬内等离子体的传热流动新的内涵 和表现形式；(2)炬的结构与尺寸差异较大，炬的 喷口更大，通道更长；(3)其内部组分已不再是单 一源气体(如Ar) 的等离子体，而是金刚石膜沉积 所需的Ar-H -CH 混合等离子体，它们之间的组 2 4 分扩散对等离子体的传热流动也有影响。但是迄 今已有的研究大多针对的是传统工业用等离 子体炬[2-4] ，对图 1 的新型磁控直流等离子体 炬的研究很少。 ______________________________________ 基金项目：四川省青年科技基金(08ZQ026-090); 西南交通大学科学研究基金(2007B07). 本文以图1 所示的新型磁控直流等离子体炬为研究对象，首先对炬内的多场耦合关 系进行理论分析，然后在对经典的流体动力学方程组加以修正的基础上，结合麦克斯韦 方程组(全欧姆定律、电流连续方程等)，建立炬内的磁流体动力学多场耦合模型，最后 定量模拟外部载流螺管线圈的电流大小对炬内等离子体的传热流动的影响。 1 等离子体炬内多场耦合关系的理论分析 炬内等离子体的运动是气流场、电场、磁场以及热辐射等相互作用的结果，图2 给 出了它们之间的相互作用过程。在炬的阴、阳极之间施加电压形成电场，使引弧气体Ar 产生电弧放电，随后使流经放