空间用高效薄硅太阳电池的批产研讨.pdfVIP

·240· 中国太阳能光伏进展 空间用高效薄硅太阳电池的批产研究 杜永超李超’．李国海任靖 刘建生王景霄 天津电源研究所中国天津300381 【摘要】 本文介绍了天津电源研究所在空间高效薄硅太阳电池批产研究方面取得的进展， 通过无反射倒金字塔织化表面批量加工、钝化膜的厚度监控、少子寿命全程监 控生产过程和降低过程碎损率的研究，批产研究的高效薄硅太阳电池的AM0 光电转换效率全部超过了16．11％，最高达到了17．34％，批产研究结果表明天津 电源研究所已经具备了高效薄硅太阳电池的批量生产能力。 【关键词】 空间高效薄硅太阳电池批产 TheManufactureResearchof Thin SiliconSolarCells HighEfficiencySpace DU LIChaoLIGuohai。RENLIU WANG Yongchao Jing JianshengJingxiao InstituteofPower Tianjin Sources，TianJin，China，300381 0引言 射进入了轨道，从此，太阳电池开始了在空间应用的进程。随着太阳电池设计水平和工艺水平 的提高，高效硅太阳电池的光电转换效率和抗辐照能力也都逐步提高，目前，国际上在航天领 域居领先地位的国家或组织(如美国、日本和欧空局等)，航天飞行器太阳阵系统的太阳电池 较多采用效率高、抗辐照性能较好的砷化镓太阳电池和光电转换效率达17％以上的高效薄硅太 阳电池，有效地提高了太阳阵系统的重量比功率和高面积比功率，并具有较长的在轨工作寿 装备了大量的卫星。 4 天津电源研究所多年来致力于实用型空间硅太阳电池的研究和生产，为我国的多颗卫星 提供了BSR系列和BSFR系列空间太阳电池产品，并且取得了巨大的成功。近年来；空间用 高效薄型太阳电池的研究更是取得了突破性进展，通过制备无反射织化表面、钝化太阳电池 化合物半导体和空间用太阳电池及材11-．241· 的两个表面、选择性发射结制备，减反射膜应用和提高背表面场效果等技术手段，研制的钝 化发射结全背场(PERT)单晶硅太阳电池的开路电压达到640mV以上，光电转换效率超过 了17％口j；双面发电的高效硅太阳电池的效率也达到了16．64％【lⅢ。 太阳电池在空间的应用一般是通过组合技术组装成太阳阵后再装备卫星，太阳阵组合根 据任务要求，需用几百片至几万片的太阳电池。所以实现空间太阳电池的实用化，除了保证 产品的电性能和可靠性之外，还必须实现产品的批量化生产。天津电源研究所在空间用高效 ‘ 薄硅太阳电池的研制基础上，开展了该产品的批量生产研究工作。 1高效薄硅太阳电池制备 天津电源研究所研制的高效薄硅太阳电池的为钝化发射结全背场(PERT)结构，其结构 特点见表1。在高效薄硅太阳电池的批产研究过程中，硅片经过机械化学的方法减薄至所需 厚度，然后经腐蚀获得倒金字塔陷光表面结构，扩散发射结和背场，制备两个表面的接触电 极以及减反射膜，制得到高效薄硅太阳电池。 表1 空间用高效薄硅太阳电池主要特点 mill 祷蔽jil料 CZ，P型，10Q．cm厚 度 0．13mm．-L-0．03 结构形式 N*／P／P*‘ 表面结构 ．倒金字塔 外形尺寸 35．0minx54．0mm． 减反射膜