微米纳米测试分析技术.pptVIP

力传感器 由一个弹性微悬臂和一个装在微悬臂自由端的尖锐探针组成 探针必须具有决定其与样品之间相互作用强度的几何形状和材料特性，如针尖形状、长度、导电性和导磁性等 微悬臂所具有的几何形状和材料特性应使其能够在力的作用下产生可检测的形变 微悬臂及其变形的检测是SFM的关键技术之一 AFM工作原理 1986年，Binning等人在Stanford大学发明了AFM（利用原子间斥力），以弥补STM不能用于绝缘体的缺点 AFM力传感器的技术要求 针尖尽可能尖锐 低的力弹性系数 高的力学共振频率 高的横向刚度 短的悬臂长度 有适合形变检测的特性 微悬臂变形检测－隧道电流法 只需在STM仪器上稍加改进就可以进行AFM测量 微悬臂变形检测－光反射法 其它SFM 组成部分：⑴带探针的力传感器；⑵力传感器的位移检测装置；⑶电子反馈回路；⑷压电陶瓷扫描控制器；⑸图象显示系统。除了力传感器上探针的性质不同外，其余部分与AFM基本相似。 磁力显微镜（Magnetic Force Microscope， MFM） ：长程力，非接触模式，通过检测磁性样品对磁性针尖的作用来研究表面磁畴分布 静电力显微镜（Electrostatic Force Microscope， EFM）：长程力，非接触模式，通过带电荷的针尖与带静电荷的样品之间的相互作用，来研究表面静电力分布 摩擦力显微镜（Lateral Force M