太阳能聚光器薄膜的牢固度理论和制备技术.pdfVIP

维普资讯 2001年 10月 沈 阳建 筑 工 程 学 院学 报 (自然 科 学 版 ) Oct． 2001 第l7卷第 4期 Journalo{ShenyangArch．and(iv．Eng Univ (Natura]Science) ． 17． No．4 文章编号：1671—2021(2001)04—0282—03 太阳能聚光器薄膜的牢固度理论和制备技术 那艳玲 ，李 伟 ，姜 海 (1．沈阳建筑工程学院建筑技术研究所，辽宁 沈阳 110015； 2．探圳中航幕墙工程有限公司，广东探圳 518045) 摘 要：针对太阳能聚光器薄膜在制备过程中牢固度不理想这一问题，确定在薄膜的生长过程中影响 薄膜牢固度的各个因素，对这些因素作了具体的分析．并在实验的基础上，蛤出了提高薄膜牢 固度的具体措施 关键词：太阳能；薄膜；牢固度；吸附力；应力 中圉分类号：TK519 文献标识码：A 太阳能是人类重要的补充能源．它取之不尽， 热分解会产生氢和二氧化碳，与膜层分子发生反 用之不竭．且无污染，所以在能源极度短缺、环境 应，生成化合物．由于生成化合物的几率不相等， 日益恶化的今天，太阳能的利用尤为重要．太阳能 导致膜层结构不一致，不仅影响膜层的性能，还会 聚光器是太 阳能应用领域一个重要的课题，但太 导致应力集中，使膜层裂开． 阳能聚光器薄膜的牢固度不好，影响使用寿命和 镀件温度是蒸发时的一个重要工艺参数．它 效率，笔者经过理论分析和实践研究，改进了工艺 的影响体现为以下三个方面 ． 措施，使太阳能聚光器薄膜的牢固度有所改善． ①膜层分子沉积的平均能量降低．镀件表面 温度低，自由能小，减小了膜层分子在镀件表面的 1 薄膜牢固度理论分析 迁移率．根据： 1．1 薄膜的生长过程 n= 17．144×P (M ／T)0 G (1) 飞抵衬底的气化原子，除一部分被反射外，其 式中：M 为蒸发材料的摩尔分子量；T为蒸发表 余的一部分被吸附在衬底 的表面上．吸附原子在 面温度；P为温度为时的蒸气压；G为蒸发速率 ． 衬底表面上进行表面扩散运动，其 中一部分在运 可知原子 的凝结系数增大．再蒸发 的几率降 动中因相互碰撞而结合成聚团；另一部分经过一 低，所毗降低了膜层结合力． 段滞留时间后，便被再蒸发而离开衬底表面．聚团 ② 增大膜层的内应力．膜层沉积过程 中存在 可能在与表面扩散原子发生碰撞时将其捕获而增 两种力，即结合力与内应力．当结合力大于内应力 大，也可能因单原子脱离而变小．甚至僻体．当聚 时，膜层顺利生长；当结合力小于内应力时．膜层 团增大到它所包含的原子数超过 了某一临界值 就会破裂、起层．镀件温度低时，所沉积的膜，结合 时，该聚团便成为稳定的核．核因捕获表面扩散原 力虽然大于内应力，但因内应力较大．也会降低膜 子和直接飞抵的气化原子而生长，在生长过程 中 层的结合力． 核与核合体而形成网络结构，最后，网络被填实即 ③ 膜层分子和镀件间不能形成固溶体．温度 生成连续的薄膜 ． 低，自由能小，膜层分子不能深入到镀件表面内 1，2 影响薄膜牢同度的因素 部，形成紧密的固溶体，降低了膜层与镀件表面的 (1)镀件表面清洁度、蒸镀材料纯度、镀件温 物理吸附． 度、沉积速率等造成薄膜的应力． (2)真空度