大口径长焦距非球面的现场检测研究.pdfVIP

大口径长焦距非球面的现场检测 高宏刚 (岱美有限公司 北京 100080) 摘要：文中针对大口径长焦距非球面加工过程的检测问题，指出了当前存在的 困难与障碍，介绍了克服环境振动和气流影响的相移干涉技术和非球面计算全息补偿 器的应用，旨在对当前的非球面加工有所帮助． 关键词：非球面；干涉测量；动态干涉仪；补偿器；计算全息补偿器 1．引言 由于非球面镜在应用中的独特优势，一直受到重视。但由于加工和检测方面的困 难，非球面的应用却受到限制。小口径非球面，如DV镜头或DVD读写头所用非球 面镜头，多由模压技术制造，其精度主要由模具的精度保证。大口径非球面则需要单 块加工、单块检测j高精度的检测，需要使用干涉仪并通过非球面补偿器进行。 对于大多数干涉检验来说，振动和气流都是个必须解决的问题。车间或实验室地 面的振动、普通房间自由流动的空气、洁净间内经过滤净化的正压气体的流动，都有 可能导致干涉检验的失败。采用防振平台是最常见的做法。一般的防振台采用空气隔 离支撑和特殊钢架设计，可以过滤频率高于数赫兹的振动。有些厂家采用主动隔振措 施消除小于1Hz的振动。 对于大口径或长焦距镜面而言，目前还很难提供足够的隔离支撑，其难度不仅在 于能承受大重量镜面的防振平台的制造，还在于将如此重的镜子频繁移动到检测平台 而带来的风险。除了重量方面的考虑外，实际上对于长度超过6m的防振台，一般很 难做到很好的隔振效果，而几十米长的防振台更是不现实的。对这样的检测，传统干 涉仪将面临巨大困难。 目前在制造新型轻量化大口径太空望远镜时，大都需要对镜体进行真空仓内的低 温实验，以预见太空环境下镜面的变化。真空仓的振动很难被隔离掉，因而镜子的测 量是在更为剧烈的振动环境下开展的。这种条件下，采用传统干涉仪几乎是不可能的。 气流给干涉测量带来的困难似乎比振动更大。一般的做法是在防振台或光路中设 置隔离罩的方式来减缓空气的流动。但是在长光路中，对气流和光路进行密封是很困 难的。 因此在干涉测量中如何解决振动和气流的问题，以实现更为灵活而可靠的检测， 是当前大镜面加工必须考虑的问题。 对非球面进行干涉测量时，必须通过补偿器将入射的标准平面或球面光波转换成 与被测表面相近或一致的标准光波。补偿器可以采用一组光学镜头来实现，其特点是 容易制作、成本低，但精度无法验证。国内大都采用这样的补偿器。计算全息补偿器 134 (CGH)在多年前就被提出，但由于受到制造精度限制，只是在近几年才逐渐得到越 来越多的应用。CGH的精度依赖于超精加工设备的精度，具有可预见性。由于非球面 的特殊性，一种非球面形一般只能采用一种专用补偿器。补偿器的精度及其调整精度 是影响非球面测试精度和可靠性的重要因素。 对于非球面加工者而言，最关心的是在镜面制造过程中的现场检测。非球面的加 工是表面在修整中变化的动态过程，此时表面的状况千差万别，表面局部的凸凹难有 规律可循。一个准确可靠的检测工具是保证加工质量和提高加工效率的重要手段。本 文主要针对非球面加工测量过程中涉及到的环境和补偿器问题，介绍几种相关技术， 以期为当前的非球面制造工作提供参考。 2．工作于振动环境下的干涉测量技术 自1974年相移干涉仪术(简称PSI)…被提出以来，从干涉图中获得高精度相位 信息就成为可能。这也是目前PSI干涉仪广泛应用的原因之一。PSI技术的核心是对 同一表面获得至少4幅干涉图，这几幅干涉图除了具有固定相位差以外，其它信息完 全相同。通过对这几幅干涉图进行相移算法计算，就可以获得被测表面的相位信息。 一般地，干涉仪中CCD相机的记录速度为30珧，完成4幅干涉图获取需要约120ms； Ills。 有些干涉仪需要13幅干涉图进行计算，则耗时约400 振动对测量的影响主要是振动幅值的作用。振动引起干涉仪与被测元件间的相对 运动，造成用于计算的各干涉图的信息不符合计算假定的要求，从而导致测量相位的 误差。为避免振动的影响，就要在一个振动周期内完成测量。考虑到120～400ms的 测量时间，防振台需要把频率高于2．5～8Hz的振动滤掉。目前一般商用防振台都能达 到这个指标。另一方面，考虑到振动谱的特征是振动幅值随振