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第35卷，增刊 红外与激光工程 2006年lO月
V01．35 and
InfraredLaser Oct．2006
Supplement Engineering
双纵模He．Ne激光无导轨大尺寸测量仪研究
张涛，杨春生，周肇飞
(四川大学激光应用研究所，四川成都610065)
摘要：一种基于拍波干涉原理的无导轨大尺寸测量系统已研制成功。它以双纵模热稳频He．Ne激光为光
源，其两纵模生成于同一振腔内具有天然同轴的优势，在整个测量范围内不会发生光束分离．两纵模频差约
790
MHz，拍波波长约380
ram。其稳定度(即拍波波长稳定度)与激光频率稳定度相同，在无空调并有冷热
气流吹拂时可保证不低于10。1。两纵模频差以拍波节点为对准标志，采用自适应滤波和小波锐化器有效滤除
噪声，从而提高了节点检测的测量精度。测量起点和终点到最近节点的距离由同一光源分出来的双频干涉仪
精确测定，分辨力为0．08 m，测量不确定度优于30 m。
lam。经实验验证：系统的测量范围大于20 pm／10
关键词：大尺寸； 拍波； 双纵模； 节点； 不确定度
中图分类号：TH744．3文献标识码：A
of instrumentwithoutbased
Studylarge-scalemeasuring guide on
double modes
He·Nelaser
longitudinal
ZHANG
Tao，YANG Zhao—fei
Chun—sheng，ZHOU
of Laser,Sichuan
OnstituteApplied University,Chengdu610065，China)
Abstract：A withoutbasedon of is
large—scalemeasuringsystem guide the beatwave
principle
described．The double modesHe·Nelaserwith isusedas
frequency—stabilizedlongitudinal thermoregulationlight
source．Itstwobeamsofdouble modes inthesameresonatorofthelaserandale
longitudinalgenerate naturally
coaxial．The differenceis 790MHzbeat ITlm。Its isthe asthe
about and 380
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