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6 光 电 子 技 术 与 信 息 OptoelectronicTechnology＆Information 2005Dec；18(6) 气相质子交换法 易、鹏，戴基智，李长红 (电子科技大学光电信息学院，四川 成都 610054) 摘 要： 质子交换法是制作铌酸锂光波导的常用方法，介绍了液相和气相质子交换法制作光波导的原理及工 艺，对气相法形成波导的损耗比较低的机理进行了探讨，并且提出了提高质子交换速度的方法。 关键词 ：集成光学；光波导；质子交换；气相质子交换法 中图分类号：TN25 文献标识码：A 文献编号：1006—1231(2005)06-0006-04 VapourProtonExchange YIPeng，DAIJi—zhi，LIChang—hong (CollegeofOpt-electronicInformation，UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina， Chengdu 610054，China) Abstract： Thecharactersofproton—exchangedwaveguideweremainlypresented．Thedifferenceofthe waveguideswhichwereexchnagedinbenzoicacidliquidandvapourbenzoicacidwasdiscussed．Somemethods abouthow toimprovethereactionspeedinvapourbenzoicacidwerealsodiscussed． Keywords：integrated—optics；waveguide；protonexchange(PE)；vapourprotonexchange(VPE) 1 引 言 换技术制作出的波导传输损耗较小，有更强的抗光 致折变能力，并且只引起异常光折射率的增加，寻 光通信技术已经成为现代通信系统的基本组 常光的折射率会略有减小。对于 切和y切 LN 成部分，随着信息时代的来临，对光通信高速大容 波导，只传播 TE模，而 z切LN波导只传输TM 量的要求越来越高，集成光学技术得到了极大的进 模式。质子交换光波导只传输一种模式的光场，因 展，光调制器、光开关、光分路器、光波分复用器等 此采用质子交换工艺有利于实现偏振控制，为实际 器件成为了研究的热点，而其中光调制器是高速长 应用中实现模式选择提供了方便。国内多见用液相 距离光通信中必不可少的关键器件 【。在各种光 法制作光波导，而气相法报道较少。 调制器中LiNbO3(LN)电光调制器是备受关注的一 2 液柏质子交换法制作光波导 种。这是因为它具有宽调制带宽、低插入损耗、宽 光谱工作范围、色散小等许多优点，很适合时分复 1982年，Jackel首次提出把铌酸锂晶体浸没 用和波分复用光传输系统 要获得高性能的器件， 在熔融的苯甲酸中，晶体表面附近的部分锂离子将 除优化结构设计外，关键是晶体材料和制作技术， 被苯甲酸中的氢离子 (即质子)所替代，形成折射率 其中波导的制作尤为关键。质子交换法是制作光波 高于铌酸锂的表层，其交换过程可以用如下的离子 导的一种常用工艺，质子交换法比较简便快捷，是 反应式表示 l【j．LiNbO3+xH+§Lil—xHxNbO3+ 一 种低温工艺，制备出的光波导具有大的异常光折 xLi十 。 射率变化 An ，对光场能量的控制