4边超-微传感系统技术及在水污染 监控中的应用.pptVIP

微传感系统技术及在水污染监控中的应用 边 超 中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室北方基地 提纲 传感器 微传感器与MEMS技术 微传感系统技术与水污染监控 实验室工作简介 小结与展望 传感器 什么是传感器? ——信息技术的源头 传感器 什么是传感器? ——物联网的基础 传感器 传感器的重要性 传感器无处不在 传感器 传感器的发展趋势 智能化 微型化 低功耗 无线传输 便携式 将成为新型传感器的未来发展方向 微传感器与MEMS技术 什么是微传感器？ 尺寸从几微米到几毫米的传感器 特别是以MEMS(微电子机械系统)技术的传感器 MEMS技术是在集成电路（IC）工艺基础上发展起来 微传感器与MEMS技术 特点 微传感器与MEMS技术 特点 微传感器与MEMS技术 微传感系统的特点 体积小 重量轻 功耗低 易于批量化生产、成本低 易于集成化 可靠性提高 功能增强 ——是传感技术领域的一个重要研究方向 微传感器与MEMS技术 微传感系统的应用 采用MEMS技术制造各种微型新型传感器、执行器和微系统具有巨大的潜力 在工业、农业、国防、航空航天、航海、医学、生物工程、交通、家庭服务等各个领域都有巨大的应用前景 多种新型MEMS器件微传感器商品化，主要有：压力传感器、加速度传感器、微型陀螺、喷墨头、硬盘驱动头 用于生物、化学测试系统的Lab-onchip和其他类型生物芯片则刚刚显露出巨大的潜力 微传感系统技术与水污染监控 微传感系统技术与水污染监控 微传感系统技术与水污染监控 微传感系统技术与水污染监控 水环境长期实时监测系统： 物理参数: 温度、盐度、深度、 海流和浊度 化学参数: 硝酸盐、有色溶解有机物(CDOM)、溶解氧 生物参数: 叶绿素 微传感系统技术与水污染监控 现有的便携式水质监测仪 微传感系统技术与水污染监控 微型流控系统平台 微传感系统技术与水污染监控 微型反应温控系统 微传感系统技术与水污染监控 微型过滤系统 微传感系统技术与水污染监控 微型气象色谱芯片系统 微传感系统技术与水污染监控 实验室工作简介 1987年成立 国内传感器领域第一个国家重点实验室 实验室面积4000平米，超净间面积1000平米 实验室工作简介 MEMS微传感器加工和测试的平台 实验室工作简介 微传感器 物理量传感器 电场传感器 压力传感器 惯性传感器 生物量传感器 酶传感器 免疫传感器 化学量传感器 气体传感器 水环境监测传感器 微传感器系统 传感器与电路集成系统（SOC） 微流控系统 传感器网络 实验室工作简介 微传感器 物理量传感器 电场传感器 压力传感器 惯性传感器 生物量传感器 酶传感器 免疫传感器 化学量传感器 气体传感器 水环境监测传感器 微传感器系统 传感器与电路集成系统（SOC） 微流控系统 传感器网络 实验室工作简介 微传感器 物理量传感器 电场传感器 压力传感器 惯性传感器 生物量传感器 酶传感器 免疫传感器 化学量传感器 气体传感器 水环境监测传感器 微传感器系统 传感器与电路集成系统（SOC） 微流控系统 传感器网络 实验室工作简介 微传感器及系统 物理量传感器 电场传感器 压力传感器 惯性传感器 生物量传感器 酶传感器 免疫传感器 化学量传感器 气体传感器 水环境监测传感器 微传感器系统 传感器与电路集成系统（SOC） 微流控系统 传感器网络 谢 谢！ 实验室工作简介 水环境监测传感器 COD微传感芯片 特点： 微型电化学传感芯片 无需消解处理 避免了二次污染，绿色环保 2μm 细胞分离芯片 毛细管电泳分离芯片 无线传感器网络节点 SOC 小结与展望 英国Essex University研制的水污染（泄漏）监测机器鱼 微传感系统技术在污染源监测方面具有巨大的应用潜力 将为污染的低成本、现场、快速、便携式应急监测以及浮标式在线监测提供重要的技术途径 很多研究刚刚起步，需要付出更多的努力 中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室北方基地 * 信息技术 传感器技术 信息获取 通讯和网络技术 信息传输 计算机技术 信息处理 飞机：湿度、速度、气象…… 卫星…… 加速度计、压力传感器、 偏航速率传感器、位置传感器…… 工业、农业、航空航天、军事国防，从陆地到海洋，从天空到太空，从各种复杂的工程系统到生活的衣食住行，几乎每一个现代化项目都离不开各种类型的传感器。 位置传感器 与电路集成的加速度传感器 首支静电马达 1988年，UC Berkley 三支 血