FeSiAl微波衰减涂层电磁特性分析研究.pdf

FeSiAI微波衰减涂层电磁特性分析 张永清丁耀根阴生毅黄云平周小攀 (中国科学院电子学研究所 北京100080) 摘要：采用矢量网络分析仪对FeSiAI微被衰减涂层的电磁参数进行了测试，通过利用电磁波衰减理论进行 层对微波衰减损耗属于以磁衰减为主，伴有少量电衰减的复合衰减类型；FeSi^l涂层具有优异衰减特性的实质。 在于材料本身不仅具有较强的磁损耗特性，-而且还具有很高的介电常数值，从而使得涂层的电磁波衰减常数值a 达到了很高的数值。 关键词：微波，衰减材料，FeSiM，涂层 烧结型FeSiAl涂层是一种新型的、性能优异的微波衰减材料，目前这一材料己被广泛应用于 大功率微波电真空器件的研制，并成为一种不可或缺的关键功能材料…。然而，迄今为止，该材料 衰减微波的类型以及其具有优异衰减特性的实质还不是很清楚。为此，本文开展了如下工作：对 FeSikl涂层的电磁参数进行测试；利用微波电场衰减理论进行分析和计算；对不同吸波材料进行 比较；通过综台分析，阐明FeSiAl涂层的衰减类型以及其具有优异衰减特性的实质。 1．FeSiAI微波衰减涂层的电磁参数特性 8720C。 FeSiAI微波衰减涂层电磁参数采用矢量网络分析仪进行测试，仪器型号为Agilent rH％e，、tg 表1为衰减涂层电磁参数的测试结果。表中的e，’、e 6。(e。／e’)分别表示复数介 电常数的实部、虚部、绝对值和介电常数的损耗角正切，Ⅱ，’、II，”、p。tg6．(u，“／urI)则 代表复数磁导率的实部、虚部、绝对值和磁导率的损耗角正切。 表l 电磁参数特性测试结果 电介特性 磁特性 样品 er， ￡r” er 6。 Ur’ H。’ U。 6． tg tg 未烧涂层 46．562．49 46．62 0．05 O．7l O．7l 1．00 1．OO 烧结涂层 108．5121．86110．690．20 0．31 O．76 0．82 2．46 通过对表i中的电磁参数进行分析和比较，可得到如下结果： (I)FeSiAI涂层的复介电常数的虚部e”和损耗角正切值tg6。均不为零，表明其对微波均 可形成一定的介电损耗； 6．大于1．表明其对微波可形成较大的磁损耗： (2)FeSiAl涂层其磁导率的损耗角正切值tg 6。： 6。均远小于其磁导率的损耗角正切值tg (3)FeSiAI涂层其介电常数的损耗角正切值tg (4)FeSiAI涂层经烧结后，介电常数发生了很大变化，复介电常数的实部e。7成倍增加， 6。达到未烧结时的4倍； 虚部e，”增加近8倍，介电常数的损耗角正切值tg 26 p。’略有增加，磁导率的损耗角正切值tg6．达到烧结前的2．5倍： 铝陶瓷的介电常数(￡，’=8～11)； 2．Fe$iAI涂层衰减类型 众所周知，FeSiAl涂层对微波的衰减作用不外乎电损耗及磁损耗两种。其中电损耗又包括导电损 层A1：伪和Si(h薄膜所包围，结果使得整个涂层导电性能严重下降，采用万用表测试无法测出其电 阻值。由于FeSiAl涂层几乎不导电，所以其对微波的电损耗很小，可只考虑其电介质极化损耗a 型，仅需判断电介质损耗和磁损耗哪一个据主导位置即可。 根据电磁波理论，当电磁波在有损耗的介质中传播时，设其沿+z方向