电子材料晶片参考面长度测A方法.PDF

中华人民共和国国家标准 电子材料晶片参考面长度测A方法 c13/T 13387一92 Testmethodformeasuringflatlength onslicesofelectronicmaterials 1 主题内容与适用范围 本标准规定了电子材料晶片参考面长度的测量方法。 本标准适用于测量各种直径的硅抛光片、研磨片和切割片的参考面长度。也适用于测量砷化稼、蓝 宝石和礼嫁石榴石等材料晶片的参考面长度。 2 引用标准 GB2828逐批检查计数抽样程序及抽样表 适（用于连续批的检查） 3 方法提要 利用光学投影仪，把晶片参考面投影到显示屏上，使参考面一端与显示屏上的基准点对准，记录测 微计读数。然后调节载物台，使参考面另一端与基准点对准，再次记录测微计读数。两次读数之差即为 晶片的参考面长度。 4 测t仪器 A1光学投影仪，由以下几部分构成。 t.1.1 光学系统，放大倍数为20倍。 4.1.2载物台，x轴行程应大于晶片的参考面长度．Y轴行程为。^-25MM.X轴测微计精度优于 2jtLMn 4.1.3 显示屏，最小直径为254mm. 冲1．4 轮廓板，由半透明材料制成，板上有两条相互垂直的基准线相交于中央，在垂直基准线的中心上 下，各有 10个1mm间隔的刻度，见图1. 95家技术监督局 1992一02一19批准 1992一10一01实施 GB1T13387一92 图 1 轮廓板 1一水平基准线；2一垂直基准线 ;3一刻度线，每格 lmm 4.2 测微尺，由透明材料制成，至少长lmm，分刻度为0.05mm, 4.3 钢板尺，最小长度 150mm，分刻度为0.5mm, 5 试样 从一批产品中按GB2828计数抽样方案或商定的方案抽取试样。 6 测A步骤 6.1 校准 6．们 轮廓板水平基准线的校准 在显示屏上放好轮廓板，使水平基准线大致与地面平行． 在水平基准线附近选择载物台面上某一点 一（个缺陷或一颗灰尘）为参照点，其投影图像应不 大于轮廓板刻度线的二分之一格。然后调节投影仪焦距，在显示屏上清晰看到参照点的投影图像。 沿x轴反复移动载物台，并调节轮廓板和X-Y测角仪，使参照点从显示屏的一侧移到另一 侧，当参照点都落在水平基准线上时，便完成了水平校准。 6.1.2 光学投影仪放大倍数的校准 6.12.1把测微尺放在光学投影仪载物台上，调节投影仪的焦距，使测微尺投影图像清晰呈现在显示 屏中心。 用钢板尺量出显示屏上测微尺20格以上投影图像的长度 m（m)，以该长度除以分刻度值 (0.05mm）和所量格数的乘积，测得实际放大倍数。 61.2.3 实际放大倍数应在 19.8-20.2之间。 6.1.3 载物台x轴测微计的校准 6.1.3-1 将测微计行程调到零附近。 调节测微计和X-Y平面测角仪，使测微尺投影图像和轮廓板水平基准线对准，并使全部测微 尺刻度线移到垂直基准线的一侧，见图2，记下X轴测微计的读数。 Gs/T 13387一92 图2 载物台X轴测微i｝的校准 1一水平基准线；2一垂直基准线；3载物台测微尺像 调节测微计，把显示屏上全部测微尺刻度线移到垂直基准线另一侧，再记下x轴测微计的读 数。 两次读数之差应与测微尺满刻度值相符，误差小于25ft.m, 6．2 测量 6.2.，把试样放在载物台上，使参考面投影图像的中心部分落在显示屏中心处。 6.2.2 调整参考面投影图像，使其与水平基准线重合。 调节x轴测微计，将参考面从一端移到另一端，使参考面与水平基准线重合或平行。 如果参考面外形呈凸形，调节测角仪和x轴测微计，重复条操作，使凸形参考面的 高点与水平基准线相切，而两端的低点与基准线等距，见图3，并注明参考面形状。 图3 凸形参考面的对准 6.2-2.3 如果参考面外形呈凹形，调节