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激光加工现状及21世纪的展望 束质量好，因而得到了广泛应用。市售的20～ 45kw的大功率激光器现已用于桥梁、造船、建筑 l 引 言 机械和原子技术等领域。该种激光器可切割厚度 达30mm以上的钢板。 激光器是20世纪60年代的一项重要发明成 准分子激光器是以卤素气体与稀有气体混合 果。20世纪80年代，日本的激光器制造商在世物为工作介质的激光器，包括XeF(35lnm， 界市场上曾作出过重大贡献。然而到了90年代， 其产品开发缓慢，而德国等一些技术先进的国家 却不断开发出新型激光器，逐渐拉开了与日本的 7．9eV)等。目前用于加工的准分子激光器以 距离。然而日本制造商奋起直追，在90年代末开 发出了半导体激光泵浦的大功率固体激光器及新 激光器作光源，40％的准分子激光加工机用于步 型高性能装置，人们对其在21世纪的应用寄予厚 进重复光刻，55％用于一般微细加工，其余则用于 望。 薄膜晶体管的退火。 本文主要介绍激光加工的现状及21世纪的 准分子激光器由于波长短、光子能量大，并且 应用展望。 脉冲宽度可达纳秒量级，材料被其照射后可瞬间 蒸发，因此可实现刻蚀加工。这种加工几乎没有 2 20世纪的激光加工 热影响层，又无熔融残留物，因此多用于喷墨打印 机的喷嘴等加工，亦可用于硅片、美术品的清洗。 用于材料加工的激光器主要有CO。激光器、 YAG激光器和准分子激光器。波长为1．06扯m3 21世纪的激光应用与展望 的YAG激光器由于波长短、金属表面的反射率 低，故适用于金属材料的精密切割、微孔加工、精 激光器现已成为工业加工中不可缺少的工 密焊接等。此外在不需很高功率的半导体制造领 具。下面将对21世纪激光器的进一步应用和所 域也有广阔的应用前景，如打标、微调、掩模修整、 面临的技术挑战作以介绍。 刻划和切割等。 3．1各种激光器的发展前景 大功率激光器的研究取得了重大进展。输出 3．1．1 短波长准分子激光器的实用化 功率为1～10kw的产品已实现商品化。该种激 用准分子激光照射在高分子材料的光致抗蚀 光器通过与光纤耦合，在汽车制造业中得到了广 剂上，可以制作出抗蚀图形。随着激光波长变短， 泛应用，并不断地扩展到重型机械领域。出于对 光子能量增加而聚光直径变小，使图形微细化成 环保的考虑，汽车等运输类机械也在追求轻量化， 为可能。目前作为曝光用的准分子激光器多为 因而越来越多地采用铝合金。采用激光焊接铝合 金是一种最有效的手段。 随机存取存储器(DRAM)的要求，但无法制作下 CO。激光器在日本的最大应用领域是切割 一代的lGbit 和打孔，这类用途占70％以上。CO。激光器虽然光源。随着准分子激光器朝着短波长方向发展， 在金属表面的反射率高，但由于其功率输出高、光 需对曝光光学系统中使用的零件以及抗蚀剂材 万方数据 万方数据 须对聚光方法、与光纤的高效耦合方式加以改进。 ∞∞O 善 LD作为加工光源可以构成结构简单、高效率的 m∞O ， ∞O