无尘室静电消除 ESD.pptVIP

無塵室設計簡報簡報題目：Electro Static Discharge 目次 前言 靜電產生的原因 日常生活中常見的靜電現象 人體可能產生的靜電危害 溼度與靜電充電的關係 靜電對電子產業的危害 靜電如何消除 靜電防護設備及器材 基本配套測量儀器 參考文獻與資料 前言 目前台灣已進入高科技的領域中，靜電放電(ESD)會對次微米半導體造成破壞。靜電放電會產生燒毀、打穿、劣化半導體金屬層或發生潛在性失效等現象。靜電吸附現象並且會使半導體及LCD生產過程中造成產品污染，而導致不良率的增加。。在一般產業中靜電會產生高壓放電，容易引起火災、爆炸、電擊等工安事件。這一些由靜電產生的問題除了導致企業成本提高外，亦影響到企業形象。現今許多企業已經導入ISO品質認證，靜電防護工程為許多電子工廠不可缺少的品質認證項目之一。故如何有效的去除ESD所產生的問題，即應該如何防治ESD之產生與靜電消除設備之效能確認為目前重要研究課題。 靜電產生的原因 摩擦帶電：例如膠膜、紙、布和滾輪摩擦（固體/固體) 噴出帶電：例如從噴嘴或龜裂口噴出液體或粉體 感電帶電：例如金屬桶被旁邊輸送管路感應而帶電 剝離帶電：例如膠膜、紙、布的分離（固體/固體） 流動帶電：例如汽油在配管中流動（固體/液體） 日常生活中常見的靜電現象 脫毛衣產生靜電放電：因衣服間的摩擦產生靜電而放電，常聽到〝霹啪〞的聲音，在黑暗中並可看見微弱的火光。 電視螢光幕靜電：螢光幕因電子撞擊而累積大量的靜電。 梳頭產生靜電：因頭髮與梳子摩擦而產生靜電。 烘衣服產生靜電：用烘衣機烘乾衣物時，衣服在乾熱的空氣中摩擦造成衣服上帶靜電，穿時會有黏身不舒服的感覺。 摸門把、金屬物有觸電現象：此為大陸性氣候或乾燥地區常見的現象。因為人在地毯上行走與地毯摩擦，身上累積大量的靜電，觸及金屬物後放電。 8.現有靜電防治設備 無塵室內部 屏蔽設備 ESD/EMI監測系統 防靜電器材的選用 無塵室內部 (1)導電地板 使用導電性地板，加速靜電的洩漏，保護無塵室內機台、產品、人員的安全。 (2)電源接地線 在機台供應電壓處會產生靜電，則必須洩漏以保護設備，而洩漏方法依其電荷大小有所差異。 (3)機械作動元件接地 由於機械作動元件都會有摩擦的產生，所以很容易會有靜電的產生，如：利用油壓來開關風門，如果無塵室製程產生易燃氣體，剛好通過風門，則易發生危險，故在機械作動元件接地是很重要的！ 屏蔽設備 M.E.運輸Wafer部分的屏蔽 在M.E.中，由於Wafer本身就有靜電的產生，不過藉由機械手臂或是其他接地方法將靜電電荷洩漏，在利用金屬屏蔽等來避免EMI(電磁波干擾)，以免傷及產品。 電子儀器的屏蔽 由於EMI會干擾電子設備，造成生產效率以及生產品質的下滑，所以利用屏蔽來減低EMI之影響，使其不至於降低生產效率以及產品品質。 訊號傳輸線的屏蔽 EMI會干擾訊號，所以儀器的訊號傳輸線可利用屏蔽來降低其干擾的程度，並且配合上濾波器，維持訊號的品質。 ESD/EMI監測系統 利用監測儀器來觀察儀器及機械上的靜電電荷和電磁波大小，進而來維持生產的品質與水準，並且保護工作人員安全。由於ESD、EMI的防治設備並沒有半法100%的控制，假如某一部份靜電電荷過高，造成火花或則是高頻電磁波等等，後果不只影響生產品質，甚至可能造成人員傷亡或者晶圓廠的損壞，所以利用監測設備來觀察ESD及EMI，使其保持在安全的範圍內。 防靜電器材的選用 [ 感應式靜電消電器 ] [ 離子風靜電消電器 ][ 防靜電套裝 ][ 防靜電鞋 ] [ 防靜電大褂 ][ 防靜電腕帶 ] [ 防靜電工作帽 ] [ 防靜電手套 ] [ 防靜電指套 ] [ 防靜電腳束 ] [ 防靜電織物 ][ 靜電接地線 ] [ 防靜電屏蔽袋 ] [ 防靜電包裝袋 ] [ 防靜電海綿 ] [ 防靜電IC包裝管 ] [ 防靜電元件盒(箱) ] [ 防靜電氣泡膜 ] [ 防靜電烙鐵 ] [ 防靜電液 ] [ 防靜電運輸車 ] [ 防靜電標誌牌 ] [ 防靜電氣墊膜 ] [ 防靜電窗簾 ] [ 防靜電文件袋 ] [ 防靜電工作臺 ] [ 防靜電工作椅 ] [ 防靜電椅套 ] [ 防靜電地墊 ] [ 防靜電活動地板 ] [ 防靜電元件存放架 ] [ 防靜電桌墊 ] [ 防靜電複合膠板 ] [ 防靜電PVC地板塊 ] [ 防靜電維修包 ] [ 防靜電烙鐵 ] [ 防靜電器材檢測 9.基本配套儀器測量 通常測量靜電的主要基本參數有三個，靜電電壓（位元），電荷量（密度）和電阻（率）。電荷量是靜電本質的物理量，在許多科研中要測量電荷量或電荷密度。但在很多現場直接測量電荷量是不方便的，此時測量其表面靜電電壓。很多材料的防