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是区分洁净室的等级的基准。 以美联邦规格（FED-STD-209C）作为标准使用， 长、宽、高各为1Feet(30.48cm)体积内的空气中， 包含的一定大小以上的灰尘数。 ? CLEAN-ROOM 等级 划分 所谓灰尘（PARTICLE DUST）? 存在于空气或GAS、液体上的固体性物质。 比1 ?大的称为微粒子（DUST）， 比1 ?小的称为灰尘（PARTICLE）, 但我们出于便利，通用为灰尘（ PARTICLE ）。 ? AIR-SHOWER 实际去除的灰尘数? ?HEPA-FILTER的寿命在于PRE-FILTER的管理 从HEPA-FILTER出来的Air supply的风速 给气流带来怎样的影响??? * * 关于 CLEAN ROOM 制造部 所谓CLEAN-CLASS? 比0.5?大的灰尘会有几个呢？? 1FT=30.48cm 1FT=30.48cm 1FT=30.48cm 104 ＝ 10，000 0.5?以上 10，000个以下 10，000 103 ＝ 1，000 0.5?以上 1，000个以下 1，000 102 ＝ 100 0.5?以上 100个以下 100 101 ＝