高能等离子体辅助CVD法新型纳米碳膜的制备及分析.pdfVIP

第55卷第1期2006年1月 物理学报 V01．55，No1，January，2006 I000—329012006／55(01)，0351—06ACTAPHYSICASINICA Cllill @2006Phys．Soc． 高能等离子体辅助CVD法新型 纳米碳膜的制备及分析” 杨武保”+ 范松华” 戈敏2’ 张谷令” 沈曾民2’ 杨思泽” I)(中国石油大学机电学院，北京102副9) 2)(北京化工大学碳纤维研究所，北京100029) 3j(中国科学院暂理研究所，北京IGoOSO) (2005午3月9日收到；2005年4月14日收到修改稿) 氛为CFL．，巩=10％的工艺条件下得到r～种硬度高、导电性能良好、可能具有碳链结构的新型碳膜．工艺研究结果 表明，衬底材料对制备该新型纳米碳膜具有关键作用，离子能量、工作压力及气氛等工艺因素也具有重要作用．原 子力显微镜分析结果表明，该薄膜晶粒尺寸小于100nm，薄膜光滑、致密、均匀拉曼光谱分析显示，该薄膜的拉曼光 纳米力学探针测得该纳米碳膜的显微硬度为21．38GPa，体弹性模量为420，65GPa． 关键词：高能等离子体，CVD法，纳米碳膜，衬底材料 PACC：5275R，8115H，6800 应用前景，以纳米碳管、巴基球为主构成的薄膜，其 1．引 言 场发射、储氢等性能得到大量研究”w 少量碳原子结合时，能够形成碳环或者碳链．有 以碳原子为主形成的薄膜，其中的碳原子可以 关碳链的形成、结构、性能等的理论分析计算最近已 经有一些报道，在一定的环境中，碳链被认为是形成 以sp，sp：，sp2“(0n1)，sp3等多种方式杂化．因 为杂化方式可以不同，不同杂化方式碳原子的含量 富勒稀、纳米碳管等的过渡态．但是，关于碳链薄膜 可以不同，可以掺杂其他各种元素，不同杂化方式碳 的报道未曾出现“5”． 的性能又存在巨大差异等；因此，碳基薄膜种类繁 制备各种碳膜的方法大体可以分为物理气相沉 多，性能多样，用途广泛，一直是材料科学研究的热 积和化学气相沉积．磁控溅射、磁过滤电弧放电沉 点领域之一如以sP3杂化碳原子构成的金刚石膜， 积、离子束溅射、脉冲高能量密度溅射等属于物理气 具有硬度最高、弹性模量最大、在红外到紫外的电磁 相沉积方法．化学气相沉积方法有射频辉光放电辅 波段内均不存在明显电磁吸收、热导率最高、禁带宽 度大等诸多优点，在CVD金刚石膜出现以后，一直 的沉积技术，使用不同的工艺条件时，能够获得结 是一个热点研究领域，在机械、电子、光学、传热、半 构、组成、性能不同的碳膜“”…． 导体等领域已经或者即将发挥越来越重要的作 本文采用了一种新型的等离子体技术、高能辉 用”11；以sp3杂化碳原子为骨架、混合有spl杂化光等离子体辅助CVD的方法进行了碳膜沉积研究． 碳原子的类金刚石膜，具有硬度高、摩擦系数小、光 研究发现，在一定的衬底及工艺条件下，能够获得一 学折射系数低等特性，在摩擦磨损、切削、光学等方 种新型碳膜，该碳膜具有良好导电性能，同时硬度非 面具有重要应用o”…；以sp2”方式杂化的碳原子形 常高；这与过去已报道的绝缘性好、硬度高的类金刚 成的纳米碳管、巴基球，在纳米技术等领域具有广阔 石膜，或者具有良好导电性能、但是硬度低的纳米碳