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提高压电式直线电机推力新技术

年 月 航空精密制造技术 /## ! 1 567 899! 第 卷 第 期 (S ( # $%# %’( )*+,%-%’( .#( /0# ,/*%(1 +,2(’3’14 $:; = (: = 提高压电式直线电机推力新技术 李文卓, 赵万生, 孟庆国, 詹涵菁 ( ) 哈尔滨工业大学特种加工研究所,哈尔滨 !### ! $ % 摘要 介绍了蠕动式、脉冲式、行波式及表面波式等几种压电直线电机的改进措施和进展情况,其中微脊 式蠕动直线电机和表面波直线电机极有可能成为今后压电直线电机的商品化市场的新产品方向。 $ % 关键词 压电直线电机; 超声电机; 脉冲压电电机; 蠕动; 表面波; 行波 $ 中图分类号% : $ 文献标识码% $ 文章编号% . 0 ’()* +(# ! , !##( - * ! /## ! #( - ## !1 - # !# $%’()(*+ ,(- ./0-(12’* $-345 6(#- 627()%5-2% 82’9- :)%5-2% ;(5(-4 , , , 23 456789: ;8: 46=856 +56 ?36@9: 5A B . CDE36 F6=A3A9A5 :G 5H86:B:IJ CDE36 !### !0 =45-9%5 ? 43A8 A85 3KLD:M5K56A= :6 36H8N:DKJ K3HD:OL9=8J ADM5B36ONM5 6P =9DGH5OH:9=A3HONM5 B365D K:A:D= 36AD:P9H5PJ 3A 3= H:6HB9P5P A8A A85 K3HD:O5P5O36H8N:DK 6P =9DGH5OH:9=A3HONM5 K:A:D= N3BB LD:K3=5 N5BB 36 A85 G9A9D5 D5=5DH8 6P H:KK5DH3B 9=5Q @+#(-A4 ? L357:5B5AD3H B365D K:A:D ; 9BAD=:63H K:A:D ; K3HD:OL9=8 K:A:D ; 36H8N:DK ; R,4 ; ADM5BO B36 NM5 引言 点,这在很大程度上制约了它的实际应用。如何才能 很好地提高轴向推力,以满足其驱动需要和扩大其 随着科学技术的飞速发展,尤其是在光学、微电 应用范围,是当前压电直线电机研究的一个热点问 子、航空、航天、机械制造、机器人技术、现代医学、生 题。本文将介绍几种典型的压电直线电机在提高其 物及遗传工程等诸多技术领域,越来越需要一种高 轴向推力方面的结构改进及其研究进展情况。 性能的直线电机驱动技术。而压电直线电机具有体 ( ) 积小、成本低、输出力大 相对其体积而言 、响应快、 B 蠕动式压电直线电机 精度高、无电磁干扰等特点,已经成为众多研究机构 和企业关注的热点,具有广泛的应用前景。 蠕动式压电直线电机的基本结构原理见图 。

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