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电容式传感器 摘要： 电容式传感器广泛用于位移、震动、角度、加速度等的机械量的机械精密测量，且逐步用于压力、压差、液面等方面的测量。本文着重介绍电容式传感器的原理及测量物理量的范围和具体应用。 关键词：电容式 传感器 范围 应用 电容式传感器的工作原理 电容式传感器是一种以可变参数的电容器作为传感元件，通过电容传感元件，将被测物理量的变化转换为电容量的变化。多数场合下，电容是由两个金属平行板组成并且以空气为介质，因此电容式传感器的基本工作原理可以用图4—1所示的平板电容器来说明。当忽略边缘效应时，平板电容器的电容量为 （4—1） 式中：——极板面积； ——极板间距离； ——相对介电常数； ——真空介电常数 ——电容极板介质的介电常数。 当被测物理量使得式(4—1)中、和中的某一项或某几项有变化时，就改变了电容。电容量变化的大小与被测参数的大小成比例，在交流工作时，就改变了容抗，从而使输出电压或电流发生变化，这就是电容式传感器的工作原理。 实际应用中，如果保持其中两个参数不变，而仅改变其中一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。所以电容式传感器可以分为三种类型：改变极板距离的变间隙式；改变极板面积的变面积式；改变介电常数的变介电常数式。 电容式传感器测量物理量及范围 将电容器作为敏感元件，使被测物理量的变化转换为电容量变化的传感器称为电容式传感器。电容式传感器测量技术近年来有了很大发展，在力学量的测量中占有重要地位。它不但广泛地用于荷重、位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量，而且还逐步地扩大应用于压力、差压、液面、料面、成分含量等方面的测量 电容式压力传感器的具体应用 电容式压力传感器 利用电容敏感元件将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的压力传感器。它一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极，当薄膜感受压力而变形时，薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化，通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号。电容式压力传感器属于极距变化型电容式传感器，可分为单电容式压力传感器和差动电容式压力传感器。 单电容式压力传感器 它由圆形薄膜与固定电极构成。薄膜在压力的作用下变形，从而改变电容器的容量，其灵敏度大致与薄膜的面积和压力成正比而与薄膜的张力和薄膜到固定电极的距离成反比。另一种型式的固定电极取凹形球面状，膜片为周边固定的张紧平面，膜片可用塑料镀金属层的方法制成。这种型式适于测量低压，并有较高过载能力。还可以采用带活塞动极膜片制成测量高压的单电容式压力传感器。这种型式可减小膜片的直接受压面积，以便采用较薄的膜片提高灵敏度。它还与各种补偿和保护部以及放大电路整体封装在一起，以便提高抗干扰能力。这种传感器适于测量动态高压和对飞行器进行遥测。单电容式压力传感器还有传声器式（即话筒式）和听诊器式等型式。 差动电容式压力传感器 它的受压膜片电极位于两个固定电极之间，构成两个电容器。在压力的作用下一个电容器的容量增大而另一个则相应减小，测量结果由差动式电路输出。它的固定电极是在凹曲的玻璃表面上镀金属层而制成。过载时膜片受到凹面的保护而不致破裂。差动电容式压力传感器比单电容式的灵敏度高、线性度好，但加工较困难（特别是难以保证对称性），而且不能实现对被测气体或液体的隔离，因此不宜于工作在有腐蚀性或杂质的流体中。 四、电容式传感器的特点 电容式传感器的优点是： (1)小功率、高阻抗，本身发热影响小。电容传感器电容量很小，一般为几十到几百微微法，因此具有高阻抗输出； (2)小的静电引力和良好的动态特性。电容传感器极板间的静电引力很小，工作时需要的作用能量极小和它有很小的可动质量，因而有较高的固有频率和良好的动态响应特性； (3)可进行非接触测量； (4) 结构简单、灵敏度高，分辨率高； 电容式传感器的缺点： 输出具有非线性； 寄生电容的影响往往降低传感器的灵敏度。 改进措施 （1），将结构设计成差动形式，也就是在两个固定极板之间插入动极板，动极板与两边固定极板构成两个互为差动的电容。其中一个电容增加多少，另一个电容就减少多少。 将上述差动结构的电容作为桥式电路中相邻的两个桥臂，此时，电桥的输出电压与动极板的移动距离呈线性关系（并且灵敏度较之单个电容增加到2倍）。