TEM全套上课讲义Chapter 2 Electron Optics.pdfVIP

Chapter 2 Electron Optics 2.1 Electron Sources 2.2 The Characteristic of Electron Sources 2.3 Lens, Apertures, Aberrations 2.4 会聚与平行光束 2.5 Vacuum Pumps and Holders Chapters 5, 6, 7, 8, 9 2.1电子光源物理 (Physic of Electron Sources) A. 两种不同光源 · 热电子光源(thermionic source) · 场发射光源(field-emission source) · 一般而言，场发射光源是几近“单频光＂的电子，而热电子式 光源在能量上是较发散，也就是较“白＂光的电子。这与 characteristic X-光和可见光的情形类似。 · 场发射枪电镜几乎比热电子电镜价钱上贵两倍。 2.1电子光源(Electron Sources) (Cont.) B. 热游离电子 加热金属表面使得表面电子有足够能量克服能障(energy barrier)逃离 金属表面。 这能障称为“功函数＂ work function - 极化效应(Polarization effect)：表面原子只 + 受到内部原子的作用(非对称性)而致使表面呈较 + - 负之电荷。 若有内部电子欲逃离表面则会受此极 e 化(polarized)的表面电场限制，而无法逃逸表 - 面。 + 镜像效应(Image effect)：当一电子逃逸表面 面 表 后， 会在表面引发一等量之正电荷而将其拉回。 以上两个因素使要将电子从物质表面拉出，要做“功＂。 Richardson＇s Law φ − J AT 2 e KT J：电流密度(Amp/cm2) A：Richardson＇s常数(A/cm2 * k2)：与灯丝材料有关 T：操作温度(ok) · 电子枪灯丝(filament)选择之条件 1. 低功函数 2. 高熔点 3. 在高温稳定(不会氧化，或分解) W, LaB , CeB , etc. 6 6 2.1电子光源(Electron Sources) (Cont.) C. 场发射电子 场发射的原理是在固定电位的条件下，电场在针尖上大幅地增加 ν E ：　電場集中在針尖　 γ r 是针尖之曲率半 o 一般而言，r 0.1 m(1000 ), 若A V=kv(1000eV)则E=106 V/m 径。 如此强的电场将能障降低且变薄，使得电子不必克服能障，而直 接穿遂(tunneling)过。 因加在针尖上的电场极强，应力极大，因此场发射针尖的材料 必须很强。 一般使用W310(场发射的性质与W的结晶方向有关) 功 θ 熱游離 函 數 φ Φ