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9 气敏、湿敏传感器 9.1气敏传感器 用半导体气敏元件组成的气敏传感器主要用于工业上天然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易爆、有毒、有害气体的监测、预报和自动控制，气敏元件是以化学物质的成分或浓度为检测参数的化学敏感元件。 9.1.1半导体气敏元件的分类 半导气敏传感器的分类方法很多，按照使用的材料来分，可分为SnO2系、ZnO系、Fe2O3系等；按照被检测气体对象来分，可分为氧敏传感器、酒敏传感器、氢敏传感器等；按制作方法和结构形式又可分为烧结型、薄膜型、厚膜型等；按工作原理还可分为电阻型、非电阻型；按与气体作用的位置分，可分为表面控制型和体控制型。 与气体接触时，阻值发生变化半导体气敏元件称为电阻式，其它特性变化的称为非电阻式。 气敏元件的基本条件： 1、 对气体的敏感现象是可逆的； 2、单位浓度的信号变化量大； 3、能检测的下限浓度低； 4、响应的重复性好； 5、选择性好，对其它混合气体不敏感； 6、对周围环境（温度、湿度）的依赖性小； 7、性能长期稳定，结构简单。 9.1.2表面控制型电阻式半导体气敏元件 1.结构