精密特种加工第4讲精密切削加工机床PPT.ppt

精密加工与特种加工 ;第四讲 （超）精密切削机床;研究和发展的重点集中在超精密机床的设计、制造、控制、 检测和工艺实验等方面: 1) 超精密机床设计理论与方法．(1)超精密机床系统建模及优化设计理论与方法; (2)超精密机床的多尺度、多层次耦合特性分析及模型解析; (3)超精密机床精度设计理论与多因素影响机制; (4)超精密机床环境设计理论与方法．2) 控制系统设计与智能化方法．(1)超精密机床运动系统控制理论与方法;(2)超精密机床的运动轨迹优化理论与方法; (3)超精密机床性能在线观测与智能化技术; (4)超精密机床复杂系统多因素耦合最优控制技术;(5)超精密机床动态复合误差实时补偿技术．;3) 基础部件制造与集成．(1)高精度、高速、智能化运动部件的系统化设计方法; (2)高阻尼、高刚度、高精度运动部件设计理论与方法; (3)智能化刀具系统的设计理论与方法; (4)超精密环境控制部件的集成化设计方法．4) 超精密机床检测理论与方法．(1)超精密机床的多性能检测理论与方法;(2)面向功能需求化的检测技术标准; (3)复杂物理场下多因素检测理论与方法．;*;*;超精密金刚石镜面切削机床;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;超精密加工对机床的基本要求： ⑴ 高精度 ⑵ 高刚度 ⑶ 高稳定性 ⑷ 高自动化 所以对机床各重要部件性能有严格的要求。;机床结构设计 机床结构动力学分析 床身材料的选择 机床的动态优化设计;*;*;*;*;*;近年来水静压轴承在超精密机床中的运用取得成功，例如日本SSi公司研制的三角棱形立式结构的超精密磨床中采用了去离子水静压轴承。这种轴承与油静压轴承比较其优点是容易保持硅片加工的洁净性。另外水的黏度远低于油，因此水轴承发热较小，适合于高速运转。;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;导轨的基本要求;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;三、进给驱动系统;三、进给驱动系统;*;*;;*;*;四、微量进给装置;*;*;四、微量进给装置;四、微量进给装置;*;*;*;*;*;*;4、隔离振源，使用隔振沟、隔振墙和 空气隔振垫以减少外界振动的影响;*;*;*;*