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第二章 元素半导体材料 本章介绍以锗、硅为代表的元素半导体材料。因目前国内外，各种类型的半导体器件，如晶体管、集成电路，大规模集成电路等多采用硅单晶制成。所以这里重点讨论硅单晶材料。至于化合物半导体材料将在后面讲述。 单晶硅棒材料(见硅材料图1、图2） 加工成硅片可用来制作各种类型的半导体器件 (图3、图4) 单晶 多晶 多晶硅是生产制备单晶硅的原材料，多晶硅经提纯后，纯度可高达9个 “9” ，甚至更纯（见多晶硅图）。现在首先介绍高纯多晶硅的制备。 § 2-1 多晶硅的制备 多晶硅制备方法及工艺流程，如图2-1所示。 一、 工业硅的制备 工业硅，一般是指95~99％纯度的硅．又称粗硅．或称结晶硅。这种硅是石英砂在电炉中用碳还原方法冶炼而成，其反应式为