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什么是等离子体?
等离子体技术基于一个简单的物理原理。如果获得能量供应,物质的状态将
发生改变:由固态液态,再由液态气态。如果再向气体提供更多能量,气体
将发生电离,由气态高能等离子状态,这就是物质的第四种状态。
等离子由美国物理化学家朗缪尔在1928年首次发现。
等离子是部分或全部电离的气体,主要包括:电子、离子、
中性基团、分子和光子。
脉冲星磁层
地球磁层
度 核聚变
氏
摄
太阳内部
日冕 朗缪尔
闪电
太阳风 辉光放电 高温等离子 (美国, 1881.1.31 – 1957.8.16)
白矮星 1932年诺贝尔化学奖得主
电离层
低温等离子
中性等离子 金属中的电子
中性等离子体
每立方厘米电子数
现实中的等离子体
固体 液体 气体 等离子体
冰 水 空气 极光
分子 受激分子
等离子 自由电子
宇宙中99% 以上的可见物质处于等离子体状态。在地球上能够观察到的等离子的自
然形式是闪电,或者是南北两极出现的极光。日食发生的时候,太阳周围明亮的光环(
日冕),也是等离子的一种存在形式。
如何产生等离子体?
真空舱
电极
高频发生器
等离子系统原理图
等离子发生系统
等离子作用原理?
化学清洗工艺 化学清洗工艺 物理清洗工艺
Hydrogen Plasma Oxygen Plasma Argon Plasma
Chemical Process Chemical Process Physical Process
Oxide Removal Organic Removal Sputtering
+
+
.
H.
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