电火花机械复合磨削反应烧结SiC陶瓷的表面特征精选.pdfVIP

第 24卷 第 9期 光学 精密工程 Vo1．24 No．9 2016年 9月 OpticsandPrecisionEngineering Sept．2O16 文章编号 1004—924X(2016)09—2192～08 电火花机械复合磨削反应烧结SiC陶瓷的表面特征 饶小双 ，张飞虎 ，刘立飞 ，李 琛 (1．哈尔滨工业大学机电工程学院，黑龙江 哈尔滨 150001； 2．哈尔滨理工大学机电学院，黑龙江 哈尔滨 150001) 摘要 ：研究了基于电火花机械复合磨削技术加工的反应烧结碳化硅 (R Sic)陶瓷的表面特征。用 电火花机械复合磨削 (EDDG)、电火花磨削 (EDG)以及普通磨削(cG)三种方法加工 RB-SiC陶瓷，并采用激光共聚焦显微镜和扫描电子显微 镜对加工后的SiC陶瓷的表面粗糙度、表面形貌及微观裂纹进行测量和对 比试验，获得了RB-SiC陶瓷的EDDG加工特 性。实验显示 ：EDDG加工的RB-SiC陶瓷的表面粗糙度优于 EDG加工的表面粗糙度 ，为 0．2149a／m，但 比CG加工的 表面粗糙度 0．1956 nl略差。对加工后的SiC陶瓷表面形貌观察显示，传统磨削加工后的表面存在明显划痕，EDG加 工表面主要 由放 电凹坑组成，而 EDDG加工表面同时存在放电凹坑和磨削划痕；另外，传统磨削表面也存在磨削裂纹和 晶界裂纹，但 EDG加工后 的表面只存在热裂纹，而 EDDG加工后 的表面存在磨削裂纹和热裂纹，不过热裂纹可以用金 刚石磨粒磨削去除。对 比实验显示 RB-SiC陶瓷的EDDG加工与 EDG和 CG加工获得了不同的表面特征 。 关 键 词 ：反应烧结 SiC；电火花机械复合磨削；表面粗糙度 ；表面形貌 ；微观裂纹 中图分类号 ：TG74：TQl74．758 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE．2O162409．2l92 SurfacecharacteristicsforRB—SiC ceramics byelectricaldischargediamondgrinding RAO Xiao—shuang ，ZHANG Fei—hu¨，LIU Li—fei，LIChen (1．SchoolofMechatronicsEngineering，HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China； 2．SchoolofMechanicalEngineering，HarbinUniversityof ScienceandTechnology，Harbin 150080，China) *C0rrsD”西2gauthor，E-mail：zhangfh@hit．edu．Cn Abstract：The surface characterlstics of reaction—bonded SiC (RB—SiC) ceramic with Electrical DischargeDiamondGrinding (EDDG)wereexplored．ThreekindsofprocessesofEDDG，Electrical DischargeGrinding (EDG)andConventionalGrinding (CG)weretakenintotheexperimentsofRB- SiC grinding． Then the surfaceroughnessesoftheRB—SiC weremeasured with a laserscanning confocalmicroscope。and theirsurfacemorphologiesandmicro—crackswereobserved with a scan electronmicroscopy． The grinding characteristicsof the RB—SiC with EDDG wereanalyzed and comparedtothatwitho