15微加热器热传导试验与计算.pdfVIP

第19卷第3期 光学精密工程 V01．19 No．3 andPrecision 2011年3月 0ptics Engineering Mar．20ll 文章编号1004—924X(2011)03-0612-08 微加热器热传导试验与计算 刘泽文1，田 昊2，刘 冲2 (1．清华大学微电子学研究所，北京100084； 2．大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室，辽宁大连116024) 摘要：为了研究微加热膜下方的结构与微加热器性能的关系，利用数值计算与有限元仿真，研究了微加热膜下方空气隙 厚度的变化对加热器性能的影响。首先，通过微加热器试验确定了对流换热系数等关键热学汁算参数，建记了一维 Fourier导热微分方程组，计算了Biot数并以此为依据对模型进行了薄壁简化，使用有限差分法对微分方程进行了数值 计算。然后，使用ANSYS有限元分析软件对模型进行了电热耦合仿真，并对在对流换热边界F硅衬底(无空气