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射频溅射制备镁钙微波陶瓷薄膜的研究
第 卷第 期 浙 江 大 学 学 报工学版#
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射频溅射制备镁钙微波陶瓷薄膜的研究
董树荣!王德苗!金 浩
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#浙江大学 信息与电子工程学系浙江 杭州 $
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摘 要!制备了膜层质量良好的镁钙微波介质陶瓷# $薄膜 采用高密度等离子体射频溅射法在# $二氧化硅
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上沉积了 陶瓷薄膜 研究结果表明!薄膜态 陶瓷具有和块状材料相近的微波介电特性 薄膜的介
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电常数在 左右品质因子在 左右’溅射气体的氩氧混合体积比会明显影响薄膜膜层质量及其介电特性
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氧分压的变化改变了八面体 U轴长度使晶格畸变和八面体向四面体转变’溅射功率和退火工艺温度也会影响薄膜
质量
关键词!微波介质陶瓷’ ’介质薄膜’射频溅射
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中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # $
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