用部分相干光理论对显微镜分辨率及其照明系统的讨论.pdf

维普资讯 河北师范大学学报 (自然科学版) 1989年第 1期 用部分相干光理论对显徽镜 分辨率及其照 明系统 的讨论 物理系 树 玉 晓 提要。本文用部分相干光理论简要地对显微 镜分辨平厦其照蹰 系统进行 7 讨论，指 出怎样获得最佳的分辨率并论证 了照明系统的象差对分辨率 没 有 影 响，从而提 出适合不 倍率通用的用光学补偿法变焦的照明系统。 众所周知，显微镜主要用来观测近处的小物体，得到足罄放大并且分辩清楚细节。 关键是分辨率，放大率也是由它决定的。物理光学及应用 光学给 出对校正好象差物镜的 分辨率为 (1) 式中^为观测时所用的照明波长，NA为物镜的数值孔径。该式应当说现溯 自发 光 物 体 是合适 的。但是，显微镜观铡的物体一般是不发光的，须用照明系统照明。由于照明系 统孔上的衍射，光源的每一体元将各在显徽镜物平面上产生一些衍射图样，中心点靠得 足够近的那些衍射图样将部分重叠，结果物平面上相邻各点的光振动一般是部 分 相 关 的。因此用部分相干光理论讨论 比较合适 。这时显微镜的分辨率还要依赖于入射到物体 上光的复相千度。这已被部分相干光理论所证实。 为了便于系统地讨论，现简证如下。以临界照明为 例。1、灯堑， 置、毛玻璃，8、场栏，4，可变孔 径光栏，5、聚光镜，6，物平面，7，显檄物镜。 设pl(xI，yJ)和P2(X2，y2)为物平面两个针孔， 囝 1 临 照明示意图 其复相干度由泽尼克定理得出： (p ，p = (2) n si珏0 式中J．为一阶贝塞耳函数， 。为真空 中平均渡长，nsin0为聚光镜象方数值孔径 ，把 上 式用显微物镜的数值于L径拣 夸S_ ／ risin0为显微物镜的数值孔径 。则 ※本式1987年11月收到 0 维普资讯 u 坚~／_ 了 snsln0．=slvt。 ^ 又设p(x，y)为物平面内_点，通过显微物镜成冬于p 电专 的光束到达p 的光强I㈥Ip)呤常数园子 为 ． ． 一u ㈤ ( ) ． ． v = = (Y—y1) nsinO ^d 同理，单独由pz的光束到达p的光强为：I(2)(p)：( ) (4) v。=兰 = _十(_y nsin8 ^o 假定P很靠近pl和Pz的象点，使6=[p p：]一( p]《 ，通过聚光镜照明这 两 个针孔时，物镜的象平面内的I(P)是由这两个部分相干光束叠加引起的，即