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- 2018-01-25 发布于天津
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法人家研究院家奈米元件室目次壹明明叁格查文件肆安全伍保固施柒教育捌交付使用使文件玖商十履期限和收附安全原附施四族磊晶沉系本招格用於下述系之造及等之一般要求若本招格有任何疑依主解明系整需求及格建如下量套自化的晶送系真空系提供力感器和力控制器低真空用真空高真用容式真空化程用容式真空及底用冷真空浦需或同等品抽率大於浦等或同等品磊晶沉系之反器反腔石英材等或同等冷反反腔具快速升降功能晶送配有石英托器等或同等和真空加器非接晶送系反腔流式其度控制系藕合式度感知器以保精度控制需有出度校正告反腔的和背景度在有化器
財團法人國家實驗研究院
國家奈米元件實驗室
『』
規範書目錄 頁次
壹、 說明: 3
貳、 設備明細: 3
叁、 規格審查文件: 6
肆、 安全規範: 6
伍、 保固:
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