SFJ-271 型氦质谱检漏仪使用说明书.doc

SFJ-271 型氦质谱检漏仪使用说明书使用说明 目 录 一 概述 4 1-1概述 4 二 仪器介绍 5 2-1仪器性能参数 5 2-1-1 SFJ-271 性能参数 5 2-2仪器使用环境 6 2-2-1 SFJ-271使用环境 6 2-3仪器结构 7 2-3-1 仪器外观 7 2-3-2 内部结构及部件 8 2-3-3 操作面板 9 ? 2-3-3-1 271面板 9 ? 2-3-3-2 271外部接口 9 2-3-4 电子系统示意图 11 2-4工作流程 12 2-4-1系统示意图 12 2-4-2系统工作流程 14 三 使用方法 16 3-1开始使用（以喷吹法为例） 16 1 启动 16 2 参数设定 19 3 检漏（喷吹法） 27 4 标漏校准 28 5 调零（校零） 28 6 停止 29 7 运行状态 29 8 停机断电 30 3-2其他检漏方法的操作 30 3-2-1 吸入法检漏 30 3-2-2 背压法检漏 30 四 维护 31 4-1基本维护项目 31 4-1-1 漏率校准 31 4-1-2 机械泵保养 31 4-1-3 分子泵维护 31 4-1-4 质谱管及离子源清洗 31 五 常见故障和处理 32 5-1常见故障和处理 32 5-2错误代码及其排除 34 六 附录 35 6-1氦质谱检漏仪的工作原理 35 6-2氦质谱检漏仪的检漏方式 36 6-3常用单位的换算 37 6-3-1 压强单位的换算 37 6-3-2 漏率单位的换算 37 6-4常用检漏方法 38 6-4-1 喷吹法——确定漏孔位置 38 6-4-2 吸入法——确定漏孔位置 39 6-4-3 钟罩法——测总漏率 40 6-4-4 背压法——测总漏率 41 6-4-5 辅助真空系统 42 6-5 电厂专用说明 42 七 售后服务 43 7-1 售后服务 43 一 概述 1-1 概述 SFJ－271型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，所以安全可靠。目前，检漏技术在以下领域中得到了广泛的应用： 科学研究 航空航天汽车制冷军事工业核工业医疗仪器仪表二 仪器介绍 2-1 仪器性能参数 性 能 参 数 机 型 参 数 值 最小可检漏率（Pa.m3/ s） SFJ-271 5×10-12 响应时间（s） SFJ-271 1 启动时间（min） SFJ-271 3min 漏率指示范围（Pa.m3/s） SFJ-271 1×10-3～1×10-1 2-3 仪器结构 2-3-1 仪器外观 2-3-2 内部结构及部件 编 号 部件名称 备 注 1 检漏口 被检工件与检漏仪的接口，KF-25接口 2 接收器 收集氦离子信号并放大 3 离子源 产生氦离子 4 质谱室 离子飞行的腔体 5 真空计接口 共两只，一只用于测量检漏口真空， 另外一只用于测量分子泵排气口真空值 6 分子泵 可使质谱室达到高真空 7 组合阀座 完成气路切换的工作 8 磁铁 为离子旋转提供磁场 9 电磁阀 实现气路的通或断 10 电气控制位置 电气控制都集中在此（高压危险） 11 散热风扇 ----- 12 标漏 漏率参照 14 真空泵 分子泵的前级泵和预抽工件时使用 15 开关电源 为电器部分提供电源 注 不同的机型可能各部件布局略有差异 图片仅供参考，请以实物为准 操作面板 2-3-3-1 271面板 部件名称 部件类型 备 注 触摸显示屏 显示操作 显示设备当前的运行状态,可通过触摸方式更改参数切换显示画面 开始/停止 按钮 开始检漏或停止检漏按钮.长按可对检漏口放入空气,以便更换工件 调零 按钮 按下后可自动扣除当前本底,长按取消调零 2-3-3-2 271外部接口 编号 部件类型 备 注 1 电源接口 电源接口包括：开关/保险丝/电源插孔 2 DB9接头 串行通讯接口 3 RJ-45接口 485通讯接口 4 RJ-11接口 吸枪控制接口 5 DB15接口 输出控制接口 6 PC快速接口 机械泵排气口 DB9接口定义 编号 备 注 1 NC 2 RXD 3 TXD 4 NC 5 GND 6，7，8，9 NC DB15接口定义 编号 备 注 1 24V 2 输出继电器1常开 3 输出继电器1公共端 4 输出继电器1常闭 5 输出继电器2常开 6 输出继电器