非金属材料专业毕业设计外文翻译-坩埚的纯度和界面特征对多晶硅锭质量的影响.docVIP

外 文 资 料 译 文 坩埚的纯度和界面特征对多晶硅锭质量的影响 摘要 在硅的熔融和结晶过程中来自坩埚或涂层并扩散进入硅中的杂质能通过减少少数载流子寿命来降低硅的质量。本研究就是要测试由石英坩埚和涂层所用氮化硅的纯度如何影响少子寿命。同时对有高纯硅涂层的坩埚进行测试来研究如果这个涂层作为一个抑制杂质从坩埚扩散到熔融或固体硅中的扩散屏障所发挥的作用。结果发现，减少氮化硅中的杂质含量对提高少数载流子寿命是重要的。用高纯氮化硅涂层后的高纯石英坩埚铸出的硅锭的少子寿命的测量值为95μm。与参考坩埚对比有二氧化硅涂层的坩埚显示了少子寿命有较小的提高，虽然这样的少子寿命远远低于高纯度坩埚的少子寿命。经过实验后的二氧化硅涂层研究显示涂层厚度不够。在高纯坩埚中表现出不同的热学性能导致的造成的熔炼时间短。 关键词：凝固结晶，坩埚，氮化硅 1简介 在工业专用炉的石英坩埚中高纯度硅通过熔融和凝固得到多晶硅锭。多晶硅锭的纯度被称为是一个重要参数，因此影响着硅锭的品质和晶圆产量。因此，要防止在熔融和结晶过程中硅锭不受污染是至关重要的。污染的可能来源是大气和坩埚接触界面。氮化硅涂层喷涂在坩埚壁上，以防止硅与二氧化硅反应而引起裂纹，同时可以抑制氧和其他杂质扩散进入硅熔体中。目前的研究是通过检测少子寿命来试图确定容积、坩埚表面纯度和氮化硅涂层对铸锭的质量，成分的影响。 2实验 2.1凝固实验 凝固实验在结