第三部分-04-TEM.pptx

第十一章 透射电子显微镜（TEM）;主要内容;;;;;;;1、电子光学系统;（1）照明系统-电子源（Electron Sources ）;;1）物镜;成像系统的两个基本操作;（2）成像系统;（3）观察纪录系统;2、真空系统;3、操作控制系统;具有一定能量的电子束与样品发生作用，产生反映样品微区厚度、平均原子序数、晶体结构或位向差别的多种信息。;;?;;光阑;（2）物镜光阑;;（3）选区光阑 选区光阑又称场限光阑或视场光阑。为了分析样品上的一个微小区域，应该在样品上放一个光阑，使电子束只能照射到光阑孔限定的微区。 ;;光学显微镜的分辨率;? 通常把两个Airy斑中心间距等于Airy斑半径时，物平面上相 应的两个物点间距（Δr0）定义为透镜能分辨的最小间距，即 透镜分辨率（也称分辨本领）。由式1-1得：;? 电子波的波长取决于电子运动的速度和质量，即; 不同加速电压下的电子波波长;? 日本电子JEM2010F：加速电压200KV，分辨率应该是0.00125nm；实际上一般高分辨电镜的点分辨率约0.20nm，与理论分辨率相差约150多倍。;分辨率 ∽ 衍射+像差（内容回顾） ;（1）球差;（2）像散;;;;? 由于球差、像散和色差的影响，物体上的光点在 像平面上均会扩展成散焦斑。 ? 各散焦斑半径折算回物体后可得到由球差、像散 和色差所限定的分辨率。;四、 透射电镜中的三种模式;4.1 成分分析—能谱;;4.3 形貌及高分辨像;; 当A、B两区不是由同一种物质组成时，衬度不仅取决于样品的厚度差，还取决于样品的原子序数差。 同样的几何厚度，含重原子散射作用强，相应的明场像暗；反之，由轻原子组成的区域，散射作用弱，相应的明场像亮。;所谓“衍衬”，是指晶体中各部分因满足衍射条件(Bragg方程)的程度不同而引起的衬度，它是利用电子衍射效应来产生晶体样品像衬度的一种方法。;;;若将未发生衍射的A晶 粒的像强度IA作为像的背 景像强度I，则B晶粒的像 衬度为 (ΔI/I)B =（IA-IB）/IA=I /I0 这就是衍射衬度明场 成像原理的最简单表达式。;暗;暗;;;② 界面和孪晶;;;4.3.3 相位衬度;;;;;;Al的电子能量损失谱图;;;;;;;;; ? 样品厚度100 nm（原子序数低的样品可以稍厚一些）才适用于TEM 观察。 ? 在高真空条件下热稳定差（易分解，易挥发，易变性，易变形）的样品不适合TEM观测。 ? TEM样品制备是一项关键技术，其重要性及工作量一般要占整个测试工作的一半以上，甚至超过90％。 无磁性 ? 制样原则：1.不损害样品的微观结构；2.不危害电镜设备；3.获得 尽量大的可观测薄区；4.简单易行。 ;7.2 块状样品制备流程;;;树脂包埋粉末样品例;7.4 纳米粉末样品的制备;分散均匀的NaY分子筛的TEM图像;思考题