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第卷第期光学精密工程年月文章编号光学自由曲面误差评定中匹配方法的研究杜建军高栋孔令豹姚英学哈尔滨工业大学深圳研究生院广东深圳摘要研究了光学自由曲面轮廓误差评定中被测曲面和设计曲面的匹配方法在曲面中心重合和近似法矢重合的基础上提出了五点预定位法即先定义曲面中心然后利用搜索的方法得到相互间距离最大的个角点通过这个点的匹配实现曲面的预定位在精调整中提出了二次优化方法即综合运用最小二乘法和最小条件原则进行曲面的高精度匹配并进行了仿真实验实验结果表明匹配精度可达纳米级最后通过一个非球面实测实验证明了算法的
第 卷 第 期 光学 精密工程
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Ｖｏｌ．１４ Ｎｏ．１
Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
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