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T-7U真空2001年上半年进展HT-7U真空组 2001,8,9 完成抽气系统工程设计总图部件图 完成抽气系统抽速计算 完成充气系统工程设计总图部件图 完成俄罗斯非标充气压电阀模拟实验 控制 实验杜瓦真空达到设计指标,已成功降温 经费和到货 未来计划 1,完成HT-7U抽气系统工程设计图117张: HT-7U内真空主抽气机组如图1所示, 内真空抽气由水 平窗口处连接的直经 ?80 厘米主抽管道上的内抽气机组 完成。主管道下方各连接4台直经 ?40 厘米抽速为 3.5 m3/s 分子泵、2台20K低温泵。分子泵、低温泵口设 置6只直经Φ40厘米气动双向超高真空门阀。为提高总装 灵活性,在主管端法兰与内真空室水平抽口间设置直径?80 厘米的焊接波纹管。两台低温泵的有效抽速 5 m3/s ,四台 分子泵的有效抽速 7.23 m3/s . 2 图1, HT-7内真空抽气机组布置图 表1 HT-7U内真空抽气管流导和泵有效抽速计算值(m3/s) 序号 管勃段流导 主抽管段流导 泵口到主抽管流导 泵口到内璧流导 标称抽速 有效抽速 1#低温泵 65.44 31.35 5.94 4.74 5.8 2.6 2#低温泵 65.44 19.2 5.94 4.24 5.8 2.45 1#分子泵 65.44 16 5.94 4.06 3.5 1.88 2#分子泵 65.44 13.6 5.94 3.89 3.5 1.84 3#分子泵 65.44 11.2 5.94 3.66 3.5 1.79 4#分子泵 65.44 9.24 5.94 3.42 3.5 1.72 3 HT-7U外抽气以涡轮分子泵为主泵，每台名誉抽速为1.5m3/S，泵口上方设置直径Φ25厘米气动双向超高真空门阀。外抽气由水平窗口处连接的直径?60厘米主抽管上的外抽气机组完成。为提高总装灵活性主管道与外真空室水平抽口间有直径?60厘米焊接波纹管, 主管道下方各连接4台直俓 ?25厘米抽速为1.5 m3/s 的分子泵,如图2所示. 由图2可知, 在主管下方离外真空室内璧3.5米处(包括焊接波纹管)设置第一台主泵,向外每隔80厘米设置其余3台主泵,每台泵口上方接直径(d)25厘米的过渡段和超高阀，总高度(h)19厘米. 4 表2 HT-7U外真空抽气管流导和泵有效抽速计算值(m3/s) 序号 主抽管段流导 泵口到主抽管流导 泵口到内璧流导 标称抽速 有效抽速 1#分子泵 7.467 3 2.14 1.5 0.88 2#分子泵 6.078 3 2.01 1.5 0.86 3#分子泵 5.125 3 1.89 1.5 0.84 4#分子泵 4.43 3 1.79 1.5 0.82 5 HT-7U前级机组如图 3 所示,共六台罗茨泵分两组,一组为外真空抽气,另一组为内真空室抽气,两组间串有蝶阀.图中罗茨泵进气口以上是直径 15 厘米主粗抽管, 罗茨泵进气口与主粗抽管间是直径 15 厘米气动蝶阀、波纹管,罗茨泵机组平行并联到主粗抽管上,每台抽速 0.6 m3/s,罗茨泵前级是抽速 0.07 m3/s 旋片泵. 旋片泵与罗茨泵间布有直径为 8 厘米带放气电磁阀、波纹管、多通段、气动蝶阀.多通段有一路管道与主粗抽管通过气动蝶阀相连作为罗茨泵的旁通管道，另一路管道通过气动蝶阀与相邻的旋片泵相连以便灵活运行. 首次抽气时六台旋片泵可同时通过旁通管道将已由外部阀门连成一体的内外真空室从大气(1×105Pa)抽到罗茨泵可启动的气压(1×103Pa).旋片泵的排气口用PVC管汇总后通过排风机排出室外. 6 图3, HT-7低真空抽气机组布置图 7 图4, HT-7U充气工程设计布置图 9  10 HT7U真空分控技术协调开始进行1：真空分控与HT-7U运行、相关系统运行