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第卷第期光学精密工程年月文章编号三乙醇胺浓度对固结磨料研磨垫自锐性能的影响李军夏磊王晓明朱永伟左敦稳南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室江苏南京中国航天空气动力技术研究院北京摘要采用不同浓度的三乙醇胺研磨液研磨石英晶体基于研磨垫磨损率和工件与研磨垫的磨损比分析了三乙醇胺浓度对石英晶体的去除率及其去除稳定性研磨垫磨损率磨损比研磨摩擦系数声发射信号和研磨后表面质量的影响结果表明随着三乙醇胺浓度的增加工件与研磨垫磨损比先增大后减小石英晶体的材料去除率和去除稳定性也对应地先增大后减
第 卷 第 期 光学精密工程
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