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第卷第期光学精密工程年月文章编号柔性铰链微定位平台的设计马立谢炜刘波孙立宁上海大学机电工程与自动化学院上海苏州大学机器人与微系统研究中心江苏苏州哈尔滨工业大学机器人技术系统国家重点实验室黑龙江哈尔滨摘要设计了一种以平行板铰链机构进行导向以桥式机构进行位移放大的新型压电陶瓷驱动微定位平台应用弹性力学和材料力学理论建立该平台的桥式放大机构和平行板铰链机构的理论模型分析了平台的驱动力输出位移刚度和固有频率并运用软件优化了桥式机构铰链长度厚度平行板铰链长度及厚度等几何参数获得了微定位平台的最优值对优化后
第 22卷 第 2期 光学 精密工程 Vo1．22 NO．2
2Ol4年 2月 andPrecisionEngineering Feb．20l4
文章编号 1004—924X(2014)02—0338—08
柔性铰链微定位平台的设计
马 立 ，谢 炜 ，刘 波 ，孙立宁
(1．上
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