毕业论文静电放电（ESD）器件模拟与研究.docVIP

编号 本科生毕业设计（论文） 题目：静电放电（ESD）器件的模拟与研究 物联网工程 学院 微电子学 专业 学 号 0301100124 学生姓名 刘素珍 指导教师 梁海莲 二〇一四年六月 摘 要 ESD(静电放电)是影响集成电路可靠性的主要因素之一，存在于生产到使用的每一个环节，已经成为开发新一代工艺技术的难点，对ESD的研究也因而越来越受到重视，仿真工具在ESD领域的应用使得ESD防护设计的研究便得更为便利，大大缩短了研发周期。 本文详细阐述ESD的来源、造成的危害以及讨论如何测试集成电路的防静电冲击能力，又基于Sentaurus TCAD平台，展开了对ESD防护器件的研究，研究内容包括： 1.研究了网格定义在工艺仿真中的重要性。 2.深入分析器件仿真中的物理模型及模型函数，并对描述同一物理机制的的各种不同模型展开对比分析。 3.深入分析了ESD过程中的物理机制及其ESD仿真中描述这些物理机制所要用到的物理模型。 4.分析ESD仿真中各种收敛问题的产生原因，针对每一种不收敛状况提出相应的解决方案。 关键词：静电放电，Sentaurus TCAD，静电放电模型，网格，器件仿真，双击型晶体管，可控硅ABSTRACT ESD is one of the most important reliability problems of IC products which lies in every flow of IC production，and it is also one of the most difficult problems of developing new generation technology，therefore ，the research on ESD protection design has attracted more and more attention. The applications of simulation tools on ESD area make the design of ESD protection devices more convenient,and greatly shorten the development cycle. This paper particularly explain show ESD comes from，what harm will bring， how to test the integrated circuits ability to prevent from the static，also concentrates on the simulation of ESD protection devices ,based on the Sentaurus TCAD platform.And the main content of this paper include: First,this paper points out the importance of mesh definition in process simulation. Second,physical models and functions used in device simulation are analyzed. Third,the physical mechanisms related are investigated when ESD happens ,and the relevant physical models which should be chosen in device simulation are listed. Forth,convergence problems caused by different reasons are discussed,and the solutions are presented. Keyword: ESD；Sentaurus TCAD；ESD models；Grid；Device simulation；BJT；SCR 目 录 第1章 绪论 1 1.1 课题的研究背景及意义 1 1.2 国内外概况 1 1.3 本课题的