蒸发岗位操作工安全技术操作规程.doc

管芯制造前：蒸发岗位操作工安全技术操作规程 编号：QTLSDDQ-076-2009(S) 序号 危险（害）源 危害种类或受伤性质 安全操作方法和禁止行为 应急措施 控制标淮 1 未培训上岗 多伤害及设备事故 作业人员必须经过岗前教育培训合格后方可上岗作业。 1.发生人身触电事故时，立即拉闸断电，使触电者脱离电源后，平放在地面或板面上实施人工急救，同时拔打急救电话，及时送往医院救治。触电者脱离电源后，有可能摔伤，要采取防摔伤措施。事故发生后，要及时报告单位领导和安全员，并保护好事故现场。 2.如发生伤眼事故，应立即停止作业，先用清水冲洗处置，坚决不能用手柔，就近去诊所或医院进行治疗。 3.发现设备问题，立即切断电源和（或）风源，停止作业，积极联系单位设备维修或设备管理人员进行维修。 4.如发生灼烫伤，应立即就近去诊所或医院治疗，严禁伤害部位接触有害物质或自行随意处置。同时报告单位安全员。 5.发生火灾，应立即切断周围电源，移开易燃易爆物品，使用就近的消防器材，进行初期补救，并报告单位相关人员，保护好事故现场。如火灾扩大，初期扑救无效，应立即放弃扑救，选择逃生，同时拨打119电话，等待专业救援队伍到达再进行救援处理。 6.发生腐蚀伤害后，应立即用大量清水清洗受伤处，同时将伤员送往医院或打急救电话送往救治，并报告单位领导和安全员，保护好事故现场。 7.发生物体打击事故后，应立即将伤者身上的物体移开，切断周围可能接触设备的电源，并拨打急救电话，及时送往医院救治，同时报告单位领导和安全员，保护好事故现场。 1、《易燃易爆化学物品消防安全监督管理办法(劳部发56号)》 2、《危险化学品安全管理条例(国务院2002.3.15实施)》 3、《电气安全管理规程（机械工业部1986.10.7实施）》 4、《用电安全导则（GB/T13869-92）》 5、《工业场所有害因素职业接触限值（GB Z2-2002）》 6、《机械制造企业安全质量标准化工作指南》 7、《压力管道安全管理与监察规定（劳部发140号）》 8、《劳动防护用品配备标准（试行）（经贸委2000.03.06实施）》　　　　　　　　　　　　　　　9、《中华人民共和国水法》 10、《中华人民共和国安全生产法》 11、《中华人民共和国职业病防治法》 12、防护用品配备标准： 净化工作服、口罩、防护手套。 2 安全点检不到位 机械伤害 检查本工种岗位的危险（害）源是否在受控状态。作业场所清浩，物品堆码整齐。 3 劳保用品穿戴不符合安全要求 机械伤害 禁止穿戴不符本工种安全要求的防护用品，严禁任意少穿缺穿防护用品。 4 设备点检不到位 多伤害及设备事故 检查设备各项气压是否达到要求，严禁在未达到标准要求时开机运行。设备有故障时，禁止自行修理，应报修维护。设备接地。 5 设备设施漏电 触电伤害 1.机器设备必须设置符合规定的电气接地线。金属壳体的箱柜应PE连接可靠，如箱、柜门上有电器元件时，应将门与箱、柜壳体用塑料铜芯软导线连接。 2.机床照明一律采用36V以下的电压。 3.导线、开关、插头等电器装置，必须保持完好无损，如有损坏必须由电工修复。 4.不论何种电压的照明电源线，均不许只接一根相线后利用床身载流导电。 5.作业后，切断电源。 6 行星盘操作不当 物体打击和机械伤害 利用进出炉叉车式托架将轨道及行星盘进行移动时，严禁未架稳行星盘就进行移动。取下和装上行星盘时，要一只手扶稳行星盘，以防坠落。将行星盘及轨道送进真空室，放下定位手柄，使轨道固定在真空室的定位座上，用手拨动行星盘，使之运转自如，并不与真空室体相碰。 7 取片防护不当 灼烫 蒸发完毕后，真空室自然冷却到90℃才能给真空室冲N2，打开真空室门，用进出炉叉车式托架将轨道及行星盘取出，要戴上足够厚的白纱手套，用专用工具卸下行星盘，放在专用工作台上。等待硅片冷却，戴好手套（内PVC净化手套，外尼龙手套）才能取出硅片。 8 烘烤作业防护不当 灼烫和火灾伤害 在红外灯下烘烤铝源和芯片时，要在红外灯处于关闭状态时进行操作，在进行烘烤过程中，人不能远离红外灯烘烤台，要时刻注意烘烤情况