尾气回收6操作规程(R0word03.docVIP

四川新光硅业科技有限责任公司操作规程文件 尾气回收-6（技改新建）操作规程 版次 A/0（初版） 编制 日期 审核 日期 批准 日期 发布 实施 四川新光硅业科技有限责任公司技术中心  目录（Kg/cm2） 5 7 10.5 7 温度（°C） 45 40 50 20 组成（Kg/hr） H2 986.5 nil 967 0.05 HCl 565.5 200wppm nil 563.5 SiH2Cl2 37.3 3.6 nil nil SiHCl3 12796.5 12591.5 nil nil SiCl4 3372 3354.5 nil nil N2 500vppm nil 500vppm nil 注意： 尾气进气中的氮气不能被回收系统分离。 上表为回收-6设计处理量。 1.5.1考核指标 在开车初期，吸附柱的加热和冷却系统，吸收塔T-602和脱吸塔T-603之间的液体氯硅烷循环量，均可以设计值进行运行。压缩机的压缩量通过缓冲罐D-204到E-202的补