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行政院家科委研究成果告以氮化薄膜研深紫外光器之最佳化研究研究成果告精版型行期年月日至年月日行位中原大子工程系主持人高慧玲人士班研究生兼任助理人梁士班研究生兼任助理人安博士班研究生兼任助理人美汝公本涉及利或其他智慧年後可公查中民年月日中文摘要本研究利用旋系於低下直接在石基板沉氮化薄膜薄膜之磊晶品透光射量分析薄膜之表面粗糙度使用原子力微及估算所得到之表面粗糙度的均方根值此外穿透率量中氮化薄膜於可光波段具有高的穿透率大於且於波有明吸收象再利用吸收算法而得到此材料之光能隙的能隙理值很接近同以的程成功作出
行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告
以氮化鋁薄膜研製深紫外光偵測器之最佳化研究(II)
研究成果報告(精簡版)
計 畫 類 別 ： 個別型
計 畫 編 號 ： NSC 99-2221-E-033-060-
執 行 期 間 ：99年08月01日至 100年07月31日
執 行 單 位 ：中原大學電子工程學系
計 畫 主 持 人 ： 高慧玲
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