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1
电子电器产品失效分析技术
2
目 录
3
(1)、失效定义
1、 特性剧烈或缓慢变化;
2 、不能正常工作;
(2)、失效种类
1 、致命性失效:如过电应力损伤;
2 、缓慢退化:如MESFET的IDSS下降;
3 、间歇失效:如塑封器件随温度变化间歇失效。
(一)、失效分析的基本概念
4
■ 定 义:研究电子元器件失效机理的学科
■ 失效机理:失效的物理化学根源
■ 举 例:金属电迁移
(二)、失效物理的概念
5
▼ 失效模式:金属互连线电阻值增大或开路;
▼ 失效机理:电子风效应;
▼ 产生条件:电流密度大于10E5A/cm2;
▼ 纠正措施:高温淀积,增加铝颗粒直径,掺铜,降低工作温度,减少 阶梯,铜互连、平面化工艺。
金属电迁移
6
1、失效分析:
确定产品的失效模式、失效机理,提出纠正措施,防止失效
重复出现;
2、可靠性评价:
根据失效物理模型,确定模拟试验方法,评价产品的可靠性。
(三)、失效物理的用途
10
◆ 应力-强度模型与断裂力学模型相似,不考虑激活能和时间效应,适
用于偶然失效和致命性失效,失效过程短,特性变化快,属剧烈变
化 ,失效现象明显;
◆ 应力-时间模型(反应论模型)与牛顿力学模型相似,考虑激活
时间效应,适用于缓慢退化,失效现象不明显。
失效物理模型小结
11
求激活能E:
Ln L1
Ln L2
1/T2
1/T1
B
应力-时间模型的应用:预计元器件平均寿命
12
求加速系数F:
设定高温为T1,低温为T2,可求出F。
预计平均寿命的方法
13
由高温寿命L1推算常温寿命L2
F=L2/L1
对指数分布
L1=MTTF=1/λ
λ失效率
14
1、内容:从室温算起,温度每升高10度,寿命减半。
2、应用举例:推算铝电解电容寿命
105C, 寿命1000h(标称值)
55C, 寿命1000X2E5=32000h
35C, 寿命1000X2E7=128000h
=128000/365/24=14.81年
温度应力-时间模型的简化:十度法则
15
1、 失效物理的定义:
研究电子元器件失效机理的学科。
2、 失效物理的用途:
A、失效分析:确定产品的失效模式、失效机理,提出纠正措 施,防止失效重复出现;
B、可靠性评价:根据失效物理模型,确定模拟试验方法,评价 产品的可靠性。
(五)、小结
16
目 录
17
失效的表现形式叫失效模式。
按电测结果分类:
A、开路、
B、短路或漏电、
C、参数漂移、
D、功能失效
失效模式的概念
18
■ 失效的物理化学根源叫失效机理。
■ 开路的可能失效机理:过电烧毁、静电损伤、金属电迁移、金属的电
化学腐蚀、压焊点脱落、CMOS电路的闩锁效应
■ 漏电和短路的可能失效机理:颗粒引发短路、介质击穿、pn微等离子
击穿、Si-Al互熔
■ 参数漂移的可能失效机理:封装内水汽凝结、介质的离子沾污、欧姆接
触退化、金属电迁移、辐射损伤
失效机理的概念
19
◆ 失效模式与材料、设计、工艺的关系
◆ 失效模式与环境应力的关系
环境应力包括:过电、温度、湿度、机械应力、静电、重复应力
◆ 失效模式与时间的关系
失效机理的内容
20
1、电参数漂移;
2、外引线腐蚀;
3、金属化腐蚀;
4、金属半导体接触退化。
水汽对电子元器件的影响
21
参数漂移、软失效
例:n沟道MOS器件阈值电压减小
辐射对电子元器件的影响
22
过电:pn结烧毁、电源内引线烧毁、电源金属化烧毁
静电:MOS器件氧化层击穿、输入保护电路潜在损伤或烧毁
热:键合失效、Al-Si互溶、pn结漏电
热电:金属电迁移、欧姆接触退化
高低温:芯片断裂、芯片粘接失效
低温:芯片断裂
失效应力与失效模式的相关性
23
早期失效:设计失误、工艺缺陷、材料缺陷、筛选不充
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