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机械 2006 年第10 期总第33卷 检测 57 H-S 波前传感器在大尺寸测量中的应用研究 周国斌 周肇飞 尹博彪 四川大学 激光应用技术研究所 四川 成都 610064 摘要 针对目前激光大尺寸测量系统中的空气扰动问题 提出一种采用波前探测和图像恢复技术相结合的解决方法 该 方法采用Hartman-Shack 波前探测器 直接应用Zernike 多项式来波前重构 然后运用图像解卷积运算进行图像恢复 以减小和消除测量激光束因大气扰动而产生的抖动 变形 从而提高测量精度 关键词 大尺寸测量 Hartman-Shack 波前探测器 图像恢复技术 Zernile 多项式 中图分类号 + TH165 .2 文献标识码 A 文章编号 1006 0316 2006 10 0057 03 Study for application of Hartman-Shack wavefront sensor on large scale measurement ZHOU Guo-bin, ZHOU Zhao-fei, YIN Bo-biao (Institute of Applied Laser, Sichuan University,Chengdu 610064, China) Abstract: A method used wavefront sensing and image restoration technology is presented to solve the problem of air disturbing on large size object measurement. In the system, Hartman-Shack wavefront sensor is used to sense the wavefront of laser bean, and use Zernike polynomial to restoration wavefront,and image deconvolution from wavefront sensing is used to restore image of the laser bean. Image restoration of the measure laser bean can eliminate the air disturbing on large size object measurement and thus the precision of measurement can be improved. Key words: large size object measurement; Hartman-Shack wavefront sensor; image restoration 高精度大尺寸位置测量在航天 航空 重型机 不是一个光滑的圆了 光强中心已经发生偏移 并 械工业中具有重要地位 但是 由于技术因素 长 且不断发生变形 抖动 期以来一直是一个未解决的难题 世纪 年代 解决大尺寸激光测量中的大气扰动问题成了进 20 80 随着光电技术和双频激光干涉技术的发展 出现了 一步提高测量精度的关键 在传统的技术中 自适 一种由光电经纬仪和双频激光干涉仪组成的 大尺 应光学的波前修正系统从原理上可以解决这个问 寸三坐标测量机 这种测量仪器在大尺寸测量中可 题 但是 这种系统造价较高 体积庞大不适合通 以达到毫米精度 稍后出现了基于激光拍频测量的 用的大尺寸测量仪器 只有寻求一种成本低廉 结 无轨道大尺寸测量技术 使设备进一步简化 但是 构简单波前修正系统才能彻底解决这个问题 在精度上并没有太大改观 世纪 年代末 四